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Mosioを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2件
The material of the shifter film 52 is, for example, MoSiO, MoSiON, CrO and CrON.例文帳に追加
このシフタ膜52の材質としては、たとえばMoSiO、MoSiON、CrO、CrONなどが用いられる。 - 特許庁
A resist film 53 is used as a mask to etch the shifter film 52 by reactive ion etching using CF_4+O_2 gas for MoSiO and MoSION or using Cl_2CO_2 gas for CrO and CrON to form a light transmitting portion 852 corresponding to an auxiliary measurement pattern.例文帳に追加
レジスト膜52をマスクにして、MoSiOとMoSiONとに対してはCF_4+O_2ガス、CrOとCrONとに対してはCL_2CO_2ガスを用いた反応性イオンエッチングにより、シフタ膜52のエッチングを行ない、補助測定パターンに対応する光透過部852を形成する。 - 特許庁
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