例文 (2件) |
RMS1を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2件
The chart Cs for measuring synchronization precision is provided with first and second measurement patterns RMs1 and RMs2.例文帳に追加
前記同期精度計測用チャートCsには、第1、第2計測パターンRMs1、RMs2を設ける。 - 特許庁
Then, each of the pattern RMp1-RMp4, RMs1, and RMs2 is illuminated with exposing lights, and projected images passing through the projecting optical system of the patterns are detected through openings on a reference board arranged on a wafer stage by a light-receiving sensor.例文帳に追加
そして、各パターンRMp1〜RMp4、RMs1、RMs2を露光光により照明し、そのパターンの投影光学系を通過した投影像を、ウエハステージ上に配設された基準板上の開口部を介して受光センサで検出する。 - 特許庁
例文 (2件) |
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