alignerを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2856件
POSITIONING APPARATUS, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
位置決め装置、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
OPTICAL COMPONENT HOLDING UNIT AND ALIGNER例文帳に追加
光学部品保持装置及び露光装置 - 特許庁
ILLUMINATION LIGHT SOURCE, ILLUMINATION APPARATUS, ALIGNER, AND EXPOSING METHOD例文帳に追加
照明光源、照明装置、露光装置及び露光方法 - 特許庁
SHUTTER, LIGHT SOURCE AND ALIGNER例文帳に追加
シャッタ装置、光源装置及び露光装置 - 特許庁
ALIGNER, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE, AND MAINTAINING METHOD例文帳に追加
露光装置、デバイスの製造方法、及び保守方法 - 特許庁
CHARGED PARTICLE BEAM PROJECTION ALIGNER AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加
荷電粒子線露光装置及び露光方法 - 特許庁
ALIGNER AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
露光装置及びその制御方法、デバイス製造方法 - 特許庁
OPTICAL ELEMENT, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND ALIGNER例文帳に追加
光学素子の製造方法、光学素子、及び露光装置 - 特許庁
ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICES例文帳に追加
露光装置ならびにデバイス製造方法 - 特許庁
SUBSTRATE-HOLDING MEMBER, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
基板保持部材、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
PATTERN OVERLAPPING METHOD AND ALIGNER例文帳に追加
パターン重ね合わせ方法及び露光装置 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER, POSITION MEASURING METHOD, AND PROJECTION EXPOSURE METHOD例文帳に追加
投影露光装置、位置測定方法及び投影露光方法 - 特許庁
CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER AND METHOD FOR MEASURING EXPOSURE DIMENSIONS例文帳に追加
荷電粒子線露光装置及び露光寸法測定方法 - 特許庁
PROJECTIVE ALIGNER AND METHOD, AND MANUFACTURE OF ELEMENT例文帳に追加
投影露光装置及び方法、並びに素子製造方法 - 特許庁
EXPOSURE METHOD, ALIGNER AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR例文帳に追加
露光方法及び露光装置、デバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER, EXPOSURE DEVICE, AND OBSERVATION DEVICE例文帳に追加
アライメント装置、露光装置および観察装置 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND POSITION DETECTOR例文帳に追加
投影露光装置及び位置検出装置 - 特許庁
EXPOSING METHOD, METHOD OF MANUFACTURING GRAY FILTER AND ALIGNER例文帳に追加
露光方法、濃度フィルタの製造方法、及び露光装置 - 特許庁
POSITIONING DEVICE, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE AND SENSOR UNIT例文帳に追加
投影露光装置、デバイス製造方法及びセンサユニット - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND DEVICE PRODUCING METHOD例文帳に追加
投影露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法。 - 特許庁
METHOD OF EXPOSURE AND ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND ALIGNMENT SYSTEM例文帳に追加
投影露光装置及び位置合わせ装置 - 特許庁
ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加
照明光学系、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION ALIGNER, AND PROJECTION EXPOSING METHOD例文帳に追加
投影光学系、投影露光装置、及び投影露光方法 - 特許庁
CLEANING DEVICE, ALIGNER AND CLEANING METHOD THEREFOR例文帳に追加
清掃装置および露光装置並びにその清掃方法 - 特許庁
STAGE APPARATUS, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
ステージ装置、露光装置並びにデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER MANAGEMENT SYSTEM AND DEVICE-MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置管理システムおよびデバイス製造方法 - 特許庁
POWER SUPPLY MONITOR APPARATUS AND ITS CONTROL METHOD, AND ALIGNER例文帳に追加
電源監視装置及びその制御方法、露光装置 - 特許庁
STAGE CONTROL METHOD, STAGE DEVICE AND ALIGNER例文帳に追加
ステージ制御方法、ステージ装置および露光装置 - 特許庁
ALIGNER AND ITS METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置及び方法、並びに、デバイス製造方法 - 特許庁
SUBSTRATE HOLDING DEVICE, ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
基板保持装置、露光装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁
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