alignerを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2856件
IMAGING OPTICAL SYSTEM AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
結像光学系及び投影露光装置 - 特許庁
CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加
荷電粒子線露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER AND METHOD OF EXPOSURE, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加
露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
OPTICAL APPARATUS, ALIGNER, MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加
光学装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
SUBSTRATE RETAINING DEVICE, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
基板保持装置、露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
OPTICAL ILLUMINATION DEVICE, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
照明光学装置及び露光装置、デバイスの製造方法 - 特許庁
ALIGNER AND METHOD FOR OPTICALLY WASHING OPTICAL ELEMENT例文帳に追加
露光装置及びその光学素子の光洗浄方法 - 特許庁
ALIGNER AND METHOD OF FLATTENING IMAGING-SURFACE例文帳に追加
露光装置及び結像面平坦化方法 - 特許庁
PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
投影光学系、露光装置、およびデバイスの製造方法 - 特許庁
To provide a charged-particle beam aligner which prevents an organic dirt foreign matter, which causes a reduction in the pattern transfer characteristics of the aligner in parallel with a reduction of the exposure operation of the aligner, from being solidified in the aligner.例文帳に追加
露光動作に並行してパターン転写特性低下の原因となる有機汚れ異物の装置内への固化の防止動作が行われる荷電粒子線露光装置を提供する。 - 特許庁
POSITION DETECTION DEVICE, ALIGNER AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加
位置検出装置、露光装置及び露光方法 - 特許庁
ALIGNER AND SUPPORT STRUCTURE THEREOF例文帳に追加
露光装置の支持構造および露光装置 - 特許庁
OPTIMIZING METHOD OF APERTURE SHAPE OF PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
投影露光装置のアパーチャ形状の最適化方法 - 特許庁
ALIGNER AND MANUFACTURING FOR DEVICE例文帳に追加
露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法 - 特許庁
ALIGNER AND EXPOSING BEAM CALIBRATING METHOD例文帳に追加
露光装置及び露光ビーム校正方法 - 特許庁
ALIGNER AND ITS METHOD AND MANUFACTURE THEREOF例文帳に追加
露光装置、露光方法およびデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER AND PROCESS FOR FABRICATING DEVICE, AND OBSERVATION EQUIPMENT例文帳に追加
露光装置及びデバイス製造方法、並びに観察装置 - 特許庁
ALIGNER AND MICRODEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
MASK STORAGE CONTAINER OPENING APPARATUS AND ALIGNER例文帳に追加
マスク収納容器開装置、露光装置 - 特許庁
STAGE DEVICE, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
STAGE DEVICE, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
SAMPLE-HOLDING DEVICE AND ALIGNER WITH THE SAMPLE- HOLDING DEVICE例文帳に追加
試料保持装置およびこの保持装置を用いた露光装置 - 特許庁
ALIGNER, EXPOSURE METHOD AND LASER BEAM SOURCE例文帳に追加
露光装置、露光方法、及びレーザ光源 - 特許庁
TEMPERATURE CONTROL METHOD, TEMPERATURE-REGULATED CHAMBER, AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
温度制御方法、温調チャンバ及び露光装置 - 特許庁
OPTICAL ELEMENT, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
光学素子、光学素子の製造方法及び投影露光装置 - 特許庁
STAGE APPARATUS, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURE METHOD例文帳に追加
投影光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND ITS MANUFACTURE例文帳に追加
投影露光装置及びデバイスの製造方法 - 特許庁
LIGHT SOURCE DEVICE, ALIGNER AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
光源装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND MANUFACTURE THEREOF例文帳に追加
投影露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER AND PATTERN ERROR DETECTING METHOD例文帳に追加
露光装置及びパターンエラー検出方法 - 特許庁
EXPOSURE CONTROL METHOD AND ALIGNER例文帳に追加
露光量制御方法及び露光装置 - 特許庁
METHOD FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL, OPTICAL COMPONENT, AND ALIGNER例文帳に追加
単結晶の製造方法及び光学部品、露光装置 - 特許庁
The card pushes and rotates the aligner energized by a spring.例文帳に追加
カードはばねに付勢されたアライナを押して回転させる。 - 特許庁
OPTICAL DEVICE AND SEMICONDUCTOR ALIGNER例文帳に追加
光学装置および半導体露光装置 - 特許庁
OPTICAL SYSTEM FOR MICRO-LITHOGRAPHY PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学システム - 特許庁
ALIGNER AND METHOD THEREFOR, AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
露光装置及び方法、並びに半導体素子の製造方法 - 特許庁
METHOD OF EXPOSING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE, AND ALIGNER USING SAME例文帳に追加
半導体基板の露光方法、及びこれを用いた露光装置 - 特許庁
LINEAR MOTOR DEVICE, STAGE DEVICE, AND ALIGNER例文帳に追加
リニアモータ装置、ステージ装置、及び露光装置 - 特許庁
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