alignerを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2856件
SUBSTRATE CARRYING DEVICE, SUBSTRATE CARRYING METHOD, AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
基板搬送装置、基板搬送方法および露光装置 - 特許庁
FLOW PATH FORMING MEMBER, ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
流路形成部材、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
EXPOSURE METHOD AND ALIGNER FOR EXPOSURE, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
露光方法及び装置、並びにデバイスの製造方法 - 特許庁
ALIGNER, DATA MANAGEMENT METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置、データ管理方法およびデバイス製造方法 - 特許庁
EXPOSURE METHOD, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
MICROLITHOGRAPHY PROJECTING OBJECT LENS AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
マイクロリソグラフィ投影対物レンズならびに投影露光装置 - 特許庁
EXPOSURE METHOD, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE USING THE METHOD, ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE USING THE ALIGNER例文帳に追加
露光方法とこれを用いたデバイスの製造方法、および露光装置とこれを用いたデバイスの製造方法 - 特許庁
PROJECTION EXPOSURE SYSTEM AND ALIGNER, AND MANUFACTURE FOR ELEMENT例文帳に追加
投影露光方法及び装置、並びに素子製造方法 - 特許庁
OPTICAL ELEMENT, ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING MICRO DEVICE例文帳に追加
光学素子、露光装置及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
LIGHTING DEVICE, ALIGNER, POSITIONING DEVICE, AND STICKING DEVICE例文帳に追加
照明装置、露光装置、位置決め装置および貼合装置 - 特許庁
EXPOSING METHOD, METHOD OF MANUFACTURING GRAY FILTER AND ALIGNER例文帳に追加
露光方法、濃度フィルタの製造方法、及び露光装置 - 特許庁
LINEAR MOTOR, STAGE SYSTEM, AND ALIGNER例文帳に追加
リニアモータ、並びにこれを用いたステージ装置及び露光装置 - 特許庁
POWER SUPPLY MONITOR APPARATUS AND ITS CONTROL METHOD, AND ALIGNER例文帳に追加
電源監視装置及びその制御方法、露光装置 - 特許庁
ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加
照明光学系、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
CLEANING DEVICE, ALIGNER AND CLEANING METHOD THEREFOR例文帳に追加
清掃装置および露光装置並びにその清掃方法 - 特許庁
PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
投影光学系、露光装置、およびデバイスの製造方法 - 特許庁
APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING OPTICAL SYSTEM, ALIGNER HAVING THE INSPECTING APPARATUS AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
光学系の検査装置および検査方法並びに該検査装置を備えた位置合わせ装置および投影露光装置 - 特許庁
ALIGNER AND METHOD FOR OPTICALLY WASHING OPTICAL ELEMENT例文帳に追加
露光装置及びその光学素子の光洗浄方法 - 特許庁
SUBSTRATE RETAINING DEVICE, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
基板保持装置、露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND METHOD FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR ELEMENT例文帳に追加
投影露光装置及び半導体素子の製造方法 - 特許庁
LASER OSCILLATION DEVICE, ALIGNER AND MANUFACTURE THEREOF例文帳に追加
レーザ発振装置、露光装置及びデバイスの製造方法 - 特許庁
APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE, ALIGNER, AND PROCESS FOR FABRICATING DEVICE例文帳に追加
基板処理装置、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER, AND RETICLE PROFILE MEASUREMENT DEVICE AND METHOD例文帳に追加
露光装置並びにレチクル形状測定装置及び方法 - 特許庁
LASER LENGTH MEASURING DEVICE, ALIGNER AND ELECTRON BEAM PLOTTING DEVICE例文帳に追加
レーザ測長計、露光装置、及び電子線描画装置 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND RETICLE FOR LENS DISTORTION MEASUREMENT例文帳に追加
投影露光装置およびレンズディストーション計測用レチクル - 特許庁
PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURE METHOD例文帳に追加
投影光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 - 特許庁
METHOD FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL, OPTICAL COMPONENT, AND ALIGNER例文帳に追加
単結晶の製造方法及び光学部品、露光装置 - 特許庁
ALIGNER AND PROCESS FOR FABRICATING DEVICE, AND OBSERVATION EQUIPMENT例文帳に追加
露光装置及びデバイス製造方法、並びに観察装置 - 特許庁
The card pushes and rotates the aligner energized by a spring.例文帳に追加
カードはばねに付勢されたアライナを押して回転させる。 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING MASK, MASK, EXPOSURE METHOD AND ALIGNER例文帳に追加
マスクの製造方法、マスク、露光方法および露光装置 - 特許庁
ALIGNER, GAS SUBSTITUTION METHOD, SEMICONDUCTOR DEVICE- MANUFACTURING METHOD, SEMICONDUCTOR-MANUFACTURING FACTORY, AND MAINTENANCE METHOD OF ALIGNER例文帳に追加
露光装置、ガス置換方法、半導体デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 - 特許庁
EUV ALIGNER AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
EUV露光装置及び半導体デバイスの製造方法 - 特許庁
WAVEFRONT ABERRATION INSTRUMENTATION METHOD AND EQUIPMENT, AND ALIGNER例文帳に追加
波面収差計測方法及び装置、並びに露光装置 - 特許庁
ANTIREFLECTION FILM, OPTICAL ELEMENT, ALIGNER AND ELECTRONIC COMPONENT例文帳に追加
反射防止膜、光学素子、露光装置、及び電子物品 - 特許庁
ELECTROMAGNETIC ACTUATOR APPARATUS, STAGE APPARATUS, ALIGNER AND DEVICE例文帳に追加
電磁アクチュエータ装置、ステージ装置、露光装置及びデバイス - 特許庁
DIFFRACTION OPTICAL ELEMENT, ALIGNER, METHOD OF MANUFACTURING FOR DEVICE, AND METHOD OF MAINTAINING FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING FACTORY AND ALIGNER例文帳に追加
回折光学素子、露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 - 特許庁
WAVELENGTH VARIABLE EXCIMER LASER AND ALIGNER USING SAME例文帳に追加
波長可変エキシマレーザおよびそれを用いた露光装置 - 特許庁
SUPER NARROW FREQUENCY BAND FLUORINE LASER DEVICE AND FLUORINE ALIGNER例文帳に追加
超狭帯域化フッ素レーザ装置及びフッ素露光装置 - 特許庁
MULTILAYER FILM REFLECTIVE MASK, ITS REGENERATING METHOD, AND ALIGNER例文帳に追加
多層膜反射マスク、その再生方法及び露光装置 - 特許庁
PHOTOMASK CORRECTING METHOD, PHOTOMASK, EXPOSURE METHOD, AND ALIGNER例文帳に追加
フォトマスク補正方法、フォトマスク、露光方法、及び露光装置 - 特許庁
MEASURING METHOD AND ADJUSTING METHOD OF IMAGE FORMATION PERFORMANCE OF CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER, AND CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER例文帳に追加
荷電粒子線露光装置の結像性能の計測方法、調整方法及び荷電粒子線露光装置 - 特許庁
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