alignerを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2856件
INFORMATION RECORDING MEDIUM, INFORMATION REPRODUCING DEVICE, AND ALIGNER例文帳に追加
情報記録媒体及び情報再生装置並びに露光装置 - 特許庁
ALIGNER, METHOD FOR SELECTING SAMPLE SHOT AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加
露光装置、サンプルショットの選択方法およびデバイス製造方法 - 特許庁
METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING CRYSTAL, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
結晶製造方法及び装置、露光装置、デバイス製造方法 - 特許庁
PATTERN FORMATION METHOD USING PROXIMITY FIELD LIGHT, AND ALIGNER例文帳に追加
近接場光を用いたパターン形成方法および露光装置 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER, FOCUS DETECTING APPARATUS, AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加
投影露光装置、フォーカス検出装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
MEASUREMENT METHOD AND DEVICE THEREOF, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
計測方法及び装置、露光装置、並びに、デバイス製造方法 - 特許庁
METHOD OF ADJUSTING ALIGNER AND METHOD OF MANUFACTURING MICRO DEVICE例文帳に追加
露光装置の調整方法およびマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
FILM-FORMING APPARATUS, FILM-FORMING METHOD, OPTICAL ELEMENT AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
成膜装置、成膜方法、光学素子及び投影露光装置 - 特許庁
SURFACE POSITION DETECTING DEVICE, ALIGNER AND METHOD OF MANUFACTURING MICRODEVICE例文帳に追加
面位置検出装置、露光装置、及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
SUBSTRATE SUPPORTING DEVICE, AND INSPECTION APPARATUS AND ALIGNER HAVING THE SAME例文帳に追加
基板支持装置、これを備えた検査装置および露光装置 - 特許庁
ALIGNER, DEVICE MANUFACTURED BY ALIGNER, EXPOSURE METHOD AND MANUFACTURING DEVICE, USING THE EXPOSURE METHOD例文帳に追加
露光装置及びその露光装置により製造されたデバイス、並びに露光方法及びその露光方法を用いたデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER, ITS CONTROLLING METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置及びその制御方法並びにデバイスの製造方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER, PROJECTION ALIGNING METHOD AND DEVICE FABRICATION METHOD例文帳に追加
投影露光装置、投影露光方法、及びデバイス製造方法 - 特許庁
The card passed through the alinger is pressed on the surface by the aligner.例文帳に追加
アライナを通過したカードは、アライナで表面を押さえられる。 - 特許庁
PROTECTIVE CIRCUIT, STAGE DEVICE THEREWITH CIRCUIT, AND ALIGNER例文帳に追加
保護回路、この保護回路を備えたステージ装置及び露光装置 - 特許庁
SEMICONDUCTOR ALIGNER, ALIGNMENT APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
半導体露光装置、位置合わせ装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
EXPOSURE METHOD, EXPOSURE SYSTEM, PROJECTION ALIGNER, MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING FACTORY, AND METHOD FOR MAINTAINING PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
露光方法、露光システム、露光装置、半導体デバイス製造方法、半導体製造工場、および露光装置の保守方法 - 特許庁
ALIGNER, PELLICLE ALTERNATIVE, AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
露光装置及びペリクル代替物、半導体装置の製造方法 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING MASK FOR EXPOSURE, ALIGNER AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
露光用マスク、露光装置、及び半導体装置の製造方法 - 特許庁
To provide an EUV aligner or an aligner capable of performing exposure using an optical element under high vacuum atmosphere.例文帳に追加
EUV露光装置又は高真空雰囲気下で光学素子を用いて露光を行うことができる露光装置を提供すること。 - 特許庁
POSITIONING DEVICE, SEMICONDUCTOR ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
位置決め装置、半導体露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
EXPOSURE METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE, ALIGNER AND PROGRAM THEREOF例文帳に追加
半導体デバイスの露光方法、その露光システム及びそのプログラム - 特許庁
CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT, METHOD OF MAINTAINING CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER例文帳に追加
荷電粒子線露光装置、半導体デバイスの製造方法、半導体製造工場、荷電粒子線露光装置の保守方法 - 特許庁
ANTIREFLECTION FILM, OPTICAL ELEMENT, ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
反射防止膜、光学素子、露光装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁
MASK OF ELECTRON BEAM ALIGNER, METHOD FOR DETERMINING LINE WIDTH OF MASK APERTURE, PROGRAM FOR DETERMINING LINE WIDTH OF MASK APERTURE, AND ELECTRON BEAM ALIGNER例文帳に追加
電子ビーム露光装置のマスク、マスク開口の線幅決定方法、マスク開口の線幅決定プログラムおよび電子ビーム露光装置 - 特許庁
EXPOSURE AMOUNT CONTROL METHOD, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光量制御方法、露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
PHOTOMASK, METHOD FOR PRODUCING THE SAME, EXPOSURE METHOD AND ALIGNER例文帳に追加
フォトマスク、フォトマスクの製造方法、露光方法及び露光装置 - 特許庁
METHOD FOR DESIGNING OPTICAL SYSTEM, THE OPTICAL SYSTEM AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
光学系の設計方法,光学系および投影露光装置 - 特許庁
ALIGNER, DIRECT-CURRENT MOTOR DRIVE WITH BRUSH, AND MOTOR WITH BRUSH例文帳に追加
露光装置、ブラシ付直流モータ駆動装置およびブラシ付モータ - 特許庁
METHOD AND APPARATUS FOR ADHERING EXPOSURE MASK AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
露光マスク密着方法及び密着装置並びに露光装置 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER, PROJECTION ALIGNMENT METHOD AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
投影露光装置、投影露光方法及びデバイスの製造方法 - 特許庁
OUTPUT CURRENT-CONTROL DEVICE, STAGE DEVICE, PROJECTION ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURED BY THE PROJECTION ALIGNER AND MANUFACTURING METHOD THER DEVICE例文帳に追加
出力電流制御装置、ステージ装置、露光装置、およびこの露光装置により製造したデバイスおよびデバイスの製造方法 - 特許庁
BACKING DEVICE, OPTICAL DEVICE, ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
支持装置、光学装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 - 特許庁
SUPPORTING STRUCTURE OF OPTICAL ELEMENT, ALIGNER CONSTITUTED BY USING THE SUPPORTING STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE, ETC., BY THE ALIGNER例文帳に追加
光学要素の支持構造、および該支持構造を用いて構成された露光装置と、該装置によるデバイス等の製造方法 - 特許庁
STORAGE DEVICE, ALIGNER, CLEANING PROCESSING METHOD AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加
収納装置、露光装置、清掃処理方法及び露光方法 - 特許庁
REFLECTION-TYPE PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
反射型投影光学系、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
LIGHT SOURCE UNIT, ILLUMINATION OPTICAL APPARATUS, ALIGNER, AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加
光源ユニット、照明光学装置、露光装置および露光方法 - 特許庁
PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER, METHOD FOR ADJUSTMENT, AND METHOD FOR EXPOSURE例文帳に追加
投影光学系、露光装置、調整方法、及び露光方法 - 特許庁
CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER AND CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE METHOD例文帳に追加
荷電粒子ビーム露光装置及び荷電粒子ビーム露光方法 - 特許庁
CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE METHOD AND CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER例文帳に追加
荷電粒子ビーム露光方法及び荷電粒子ビーム露光装置 - 特許庁
ALIGNER AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR ELEMENT USING THE SAME例文帳に追加
露光装置及びそれを用いた半導体素子の製造方法 - 特許庁
EXTINCTION UNIT, DETECTOR, ALIGNER AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
減光ユニット、検出装置、露光装置、およびデバイス製造方法 - 特許庁
LINEAR MOTOR, STAGE SYSTEM, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
リニアモータ、ステージ装置及び露光装置並びにデバイスの製造方法 - 特許庁
OPTICAL ELEMENT, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
光学素子、投影光学系、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
MEASUREMENT APPARATUS OF SURFACE POSITION, ALIGNER, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加
表面位置の測定装置、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
EXPOSING METHOD WITH NEAR FIELD LIGHT, ALIGNER AND EXPOSING MASK例文帳に追加
近接場光による露光方法と露光装置、及び露光マスク - 特許庁
LIGHTING OPTICAL DEVICE, ALIGNER AND MANUFACTURING METHOD OF MICRO DEVICE例文帳に追加
照明光学装置、露光装置及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
PHOTOSENSITIVE DEVICE, MEASURING APPARATUS, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
受光装置、計測装置、露光装置、およびデバイス製造方法 - 特許庁
LIGHTING DEVICE, PROJECTION ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING MICRODEVICE例文帳に追加
照明装置、投影露光装置、及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
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