「aligner」に関連した英語例文の一覧と使い方(23ページ目) - Weblio英語例文検索

MASK, ALIGNER AND ELECTRON BEAM DIMENSION DRIFT CORRECTING METHOD例文帳に追加

マスクならびに露光装置および電子ビーム寸法ドリフト補正方法 - 特許庁

PROCESSING EQUIPMENT LINDER ATMOSPHERIC PRESSURE, ENERGY BEAM IRRADIATION EQUIPMENT AND ALIGNER例文帳に追加

減圧雰囲気下処理装置、エネルギビーム照射装置及び露光装置 - 特許庁

MOVEMENT CONTROL METHOD, MOVEMENT CONTROLLER, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

移動制御方法及び装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁

OPTICAL COMPONENT MOUNTING DEVICE, METHOD THEREFOR AND ALIGNER例文帳に追加

光学部品装着装置、露光装置、および光学部品装着方法 - 特許庁

CATADIOPTRIC PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION ALIGNER, AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加

反射屈折型の投影光学系、露光装置、および露光方法 - 特許庁

ALIGNMENT DEVICE, SUBSTRATE TO BE EXPOSED AND ALIGNMENT MARK IN ALIGNER例文帳に追加

露光装置におけるアライメント装置、被露光基板、及びアライメントマーク - 特許庁

SCANNING ALIGNER, ITS MANUFACTURING METHOD AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

走査露光装置及びその製造方法並びにデバイス製造方法 - 特許庁

EXCIMER LASER DEVICE, ALIGNER AND MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

エキシマレーザー装置、露光装置および半導体装置の製造方法 - 特許庁

PROTECTIVE MEMBER FOR ELECTRON BEAM TRANSFER MASK AND ELECTRON BEAM PROJECTION ALIGNER例文帳に追加

電子線転写マスク用保護部材及び電子線投影露光装置 - 特許庁

METHOD AND DEVICE FOR ALIGNMENT, PROFILER, ALIGNER, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT, AND METHOD FOR MAINTAINING ALIGNER例文帳に追加

位置合せ方法、位置合せ装置、プロファイラ、露光装置、半導体デバイス製造方法、半導体製造工場、および露光装置の保守方法 - 特許庁

ELECTRON BEAM ALIGNER, EXPOSURE METHOD AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

電子ビーム露光装置、露光方法、及び半導体素子製造方法 - 特許庁

SEMICONDUCTOR ELEMENT ALIGNER FOR SEMICONDUCTOR PACKAGE AND USAGE THEREOF例文帳に追加

半導体パッケージの半導体素子露出装置及びその使用方法 - 特許庁

METHOD FOR USING PHOTOCATALYST, PHOTOCATALYST UNIT, AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加

光触媒の使用方法、光触媒ユニットおよび投影露光装置 - 特許庁

XY STAGE DEVICE, SEMICONDUCTOR INSPECTION APPARATUS, AND SEMICONDUCTOR ALIGNER例文帳に追加

ＸＹステージ装置、半導体検査装置、及び半導体露光装置 - 特許庁

To provide an edge aligner (100) with a buffering function, and a method of increasing the amount of wafer processing by the aligner.例文帳に追加

本発明は、緩衝（バッファリング）機能を備えたエッジアライナ（１００）及びアライナによるウェーハの処理量を増大させる方法に関する。 - 特許庁

WAFER CONDUCTION MECHANISM, CONDUCTION METHOD AND ELECTRON BEAM PROXIMITY ALIGNER例文帳に追加

ウエハの導通機構、導通方法及び電子ビーム近接露光装置 - 特許庁

ABERRATION MEASURING DEVICE, ABERRATION MEASURING METHOD, OPTICAL SYSTEM, AND ALIGNER例文帳に追加

収差測定装置、収差測定方法、光学系、および、露光装置 - 特許庁

CORRECTIVE UNIT, LIGHTING OPTICAL SYSTEM, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

補正ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 - 特許庁

ALIGNMENT METHOD AND APPARATUS AND PROJECTION ALIGNER USING THEM例文帳に追加

位置合わせ方法および装置ならびにそれらを用いた露光装置 - 特許庁

CORRECTION UNIT, LIGHTING OPTICAL SYSTEM, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

補正ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 - 特許庁

PROJECTION ALIGNER, METHOD THEREOF AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

投影露光装置及び方法並びに半導体素子の製造方法 - 特許庁

CONTAMINANT REMOVER, ALIGNER AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

汚染物質除去装置及び露光装置並びにデバイスの製造方法 - 特許庁

POSITION DETECTION DEVICE, POSITION DETECTION METHOD, ALIGNER AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加

位置検出装置、位置検出方法、露光装置、および露光方法 - 特許庁

The aligner exposes a substrate to exposure light through first liquid.例文帳に追加

露光装置は、第１液体を介して露光光で基板を露光する。 - 特許庁

ALIGNING METHOD AND APPARATUS, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

位置合わせ方法及び装置、露光装置、並びに、デバイス製造方法 - 特許庁

CORRECTION UNIT, ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

補正ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 - 特許庁

PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION ALIGNER AND PRODUCTION OF DEVICE例文帳に追加

投影光学系及び投影露光装置並びにデバイスの製造方法 - 特許庁

To conduct testing of a resist pattern formed by an aligner to correct parameters of the aligner on a real-time basis, and to unequivocally discriminate a variance of parameters of the aligner on the basis of the test result to control the parameters of the aligner in high accuracy.例文帳に追加

露光装置を用いて形成されたレジストパターンの検査を高速に行い、露光装置のパラメータの補正をリアルタイムで行うことを可能にすると共に、検査結果をもとに露光装置のパラメータ変動を一義的に判別し、露光装置のパラメータ管理を高精度に行うことを可能にする。 - 特許庁

EXPOSURE LIGHT SOURCE, ALIGNER, AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

露光光源および露光装置ならびに半導体装置の製造方法 - 特許庁

ADJUSTING METHOD AND APPARATUS FOR FOCUSING SYSTEM, FOCUSING SYSTEM AND ALIGNER例文帳に追加

合焦システムの調整方法、調整装置、合焦システム、及び露光装置 - 特許庁

REFLECTION TYPE REDUCTION PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

反射型縮小投影光学系、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁

To provide a projection aligner that is suitable for transfer exposure with high throughput and precision in the projection aligner for carrying out exposure in a vacuum.例文帳に追加

真空下で露光を行う露光装置において、高スループットかつ高精度で転写露光を行うのに好適な露光装置を提供する。 - 特許庁

CALIBRATION METHOD, ALIGNING METHOD, DEVICE METHOD FOR MANUFACTURING, AND ALIGNER例文帳に追加

較正方法、露光方法及びデバイス製造方法、並びに露光装置 - 特許庁

LIGHT EMITTING APPARATUS, ILLUMINATION APPARATUS, PROJECTION ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

発光装置、照明装置、投影露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁

SCANNING ALIGNER ITS MANUFACTURE, AND METHOD THEREFOR例文帳に追加

走査型露光装置およびその製造方法、並びに走査型露光方法 - 特許庁

STAGE POSITION CONTROL METHOD, STAGE POSITION CONTROL APPARATUS AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加

ステージ位置制御方法、ステージ位置制御装置、および投影露光装置 - 特許庁

EXPOSURE CONTROL METHOD, ALIGNER AND LASER BEAM OUTPUTTING DEVICE例文帳に追加

露光量制御方法および露光装置ならびにレーザビーム出力装置 - 特許庁

PLANE POSITION DETECTOR AND SCANNING TYPE PROJECTION ALIGNER USING THE DETECTOR例文帳に追加

面位置検出装置及びそれを用いた走査型投影露光装置 - 特許庁

DESIGN METHOD FOR STAGE CONTROL APPARATUS, ALIGNER AND DEVICE-MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

ステージ制御装置の設計方法、露光装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁

STAGE DEVICE, MEASURING APPARATUS AND METHOD, ALIGNER AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加

ステージ装置、計測装置及び計測方法、露光装置及び露光方法 - 特許庁

DRIVING APPARATUS, OPTICAL ELEMENT DRIVING APPARATUS, ALIGNER, AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加

駆動装置、光学素子駆動装置、露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁

MOBILE DEVICE, ALIGNER AND EXPOSING METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

移動体装置、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - 特許庁

MEMBER, ALIGNER, AND METHOD OF EXPOSURE, METHOD OF MANUFACTURING DEVICE, AND DEVICE例文帳に追加

露光部材、露光装置及び方法、デバイス製造方法、並びに、デバイス - 特許庁

PROJECTION ALIGNER, PROJECTION EXPOSURE METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING INTEGRATED CIRCUIT例文帳に追加

投影露光装置、投影露光方法、並びに集積回路製造方法 - 特許庁

MARK AND METHOD FOR ALIGNMENT FOR PATTERN EXPOSURE, AND ALIGNER例文帳に追加

パターン露光用位置合わせマーク及び位置合わせ方法及び露光装置 - 特許庁