alignerを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2856件
EXPOSURE METHOD AND ALIGNER, MASK, AND METHOD OF MANUFACTURING THE MASK例文帳に追加
露光方法及び装置並びにマスク及びその製造方法 - 特許庁
ALIGNER AND EXPOSURE METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING MICRODEVICE例文帳に追加
露光装置及び露光方法並びにマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
To provide an aligner apparatus capable of protecting each part of the aligner apparatus from corrosion caused by the reactive gas used for in-situ cleaning.例文帳に追加
in−situクリーニングに用いる反応性ガスによる露光装置各部の腐蝕を防止し得る露光装置を提供する。 - 特許庁
METHOD OF EXPOSURE AND ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING MICRODEVICE例文帳に追加
露光方法および露光装置並びにマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
FILM DEPOSITION APPARATUS AND METHOD, OPTICAL COMPONENT, AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
成膜装置及び方法、光学部品、並びに、投影露光装置 - 特許庁
ALIGNER, COAT DEVELOPING DEVICE, METHOD OF TRANSPORTING SUBSTRATE, METHOD OF MANUFACTURING DEVICE, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT, AND METHOD OF MAINTAINING ALIGNER例文帳に追加
露光装置、コートディベロップ装置、基板搬送方法、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 - 特許庁
ALIGNER, SURFACE POSITION ADJUSTER, MASK AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置、面位置調整装置、マスク、及びデバイス製造方法 - 特許庁
TRANSFER EXPOSURE METHOD, TRANSFER ALIGNER, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加
転写露光方法、転写露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
MEASURING METHOD AND MEASURING DEVICE, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
計測方法及び装置、露光装置、並びに、デバイス製造方法 - 特許庁
PROJECTION ALIGNER AND METHOD, AND METHOD OF FORMING CIRCUIT ELEMENT例文帳に追加
投影露光装置及び方法、並びに回路素子形成方法 - 特許庁
ALIGNER AND MANUFACTURE THEREOF, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置の製造方法、露光装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁
To reduce a substrate stage in size and an aligner in footprint.例文帳に追加
基板ステージの小型化及び装置フットプリントの縮減を図る。 - 特許庁
ALIGNER AND METHOD THEREFOR, AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
露光装置及び方法、並びに半導体素子の製造方法 - 特許庁
METHOD OF EXPOSING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE, AND ALIGNER USING SAME例文帳に追加
半導体基板の露光方法、及びこれを用いた露光装置 - 特許庁
FILM DEPOSITION METHOD, FILM DEPOSITION APPARATUS, OPTICAL ELEMENT, AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
成膜方法、成膜装置、光学素子及び投影露光装置 - 特許庁
SIGNAL WAVEFORM CORRECTING METHOD, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
信号波形補正方法、露光装置、及び、デバイス製造方法 - 特許庁
DATA TRANSFER DEVICE AND ALIGNER PROVIDED INSIDE DATA TRANSFER DEVICE例文帳に追加
データ転送装置及び該データ転送装置内に具備されるアライナ - 特許庁
EVALUATION DEVICE OF ELECTRON BEAM FOCUS PERFORMANCE AND ELECTRON BEAM ALIGNER例文帳に追加
電子線結像性能の評価装置及び電子線露光装置 - 特許庁
To reduce the time of reading data on an aligner, having a database managing system and to improve the throughput of the aligner itself.例文帳に追加
データベース管理システムを有する露光装置のデータの読み込み等の時間を短縮し、装置自体のスループットを向上させる。 - 特許庁
ELECTRON BEAM PROXIMITY ALIGNER AND ELECTRON BEAM PROXIMITY EXPOSURE METHOD例文帳に追加
電子ビーム近接露光装置及び電子ビーム近接露光方法 - 特許庁
CASSETTE CARRYING SYSTEM, SEMICONDUCTOR ALIGNER, AND RETICLE-CARRYING METHOD例文帳に追加
カセット搬送システム、半導体露光装置、及びレチクル運搬方法 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING ELECTRON EMISSION ALIGNER DEVICE AND PYROELECTRIC SUBSTANCE EMITTER例文帳に追加
電子放出露光装置及び焦電体エミッタの製造方法 - 特許庁
HOLDING DEVICE, OPTICAL SYSTEM HAVING THE SAME AND ALIGNER例文帳に追加
保持装置、当該保持装置を有する光学系及び露光装置 - 特許庁
PROJECTION EXPOSING METHOD, PROJECTION ALIGNER AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加
投影露光方法、投影露光装置およびデバイスの製造方法 - 特許庁
APPARATUS AND METHOD FOR POSITION MEASUREMENT, AND ALIGNER AND METHOD FOR EXPOSURE例文帳に追加
位置計測装置及び方法並びに露光装置及び方法 - 特許庁
SCANNING PROJECTION ALIGNER, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
走査型投影露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 - 特許庁
SUBSTRATE HOLDER AND CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER EMPLOYING IT例文帳に追加
基板保持装置及びそれを有する荷電粒子線露光装置 - 特許庁
To improve the throughput and the working rate of a peripheral aligner.例文帳に追加
周辺露光装置のスループットおよび稼働率を向上する。 - 特許庁
METHOD OF EXPOSURE AND ALIGNER, MASK, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
露光方法及び露光装置、マスク、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
STAGE CONTROL DEVICE, ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING THE DEVICE例文帳に追加
ステージ制御装置及び露光装置並びにデバイスの製造方法 - 特許庁
MASK, STAGE DEVICE, ALIGNER, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
マスク、ステージ装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER, EXPOSING METHOD AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
露光装置、露光方法、および半導体デバイスの製造方法 - 特許庁
To provide an aligner and method for optimizing the device parameter for the aligner by judging whether the device parameter set in the aligner is optimum or not, and to provide an optimizing method as and a system.例文帳に追加
露光装置に設定された装置パラメータが最適であるか否かを判断して、露光装置の装置パラメータを最適化する露光装置及び方法、並びに最適化方法及びシステムを提供する。 - 特許庁
To provide a static type aligner for demonstrating the maximum ability of a scan aligner when conducting of mix-and-match with the scan aligner and effectively suppressing residual errors at overlapping.例文帳に追加
スキャン露光装置とのミックス・アンド・マッチを行う際に、そのスキャン露光装置の能力を最大限に発揮させ、かつ重ね合せの際の残留誤差を効果的に抑制する静止型露光装置を提供する。 - 特許庁
ADJUSTMENT SYSTEM OF PROJECTION ALIGNER, ALIGNING DEVICE, ADJUSTMENT METHOD OF PROJECTION ALIGNER, ALIGNING METHOD, INFORMATION-PROCESSING DEVICE, AND PROJECTION ALIGNER, DEVICE-MANUFACTURING METHOD USING THEM, ADJUSTMENT INFORMATION SUPPLY METHOD例文帳に追加
露光装置の調整システム、位置合わせ装置、露光装置の調整方法、位置合わせ方法、情報処理装置、露光装置、およびこれらを利用したデバイス製造方法、並びに調整情報供給方法 - 特許庁
SCANNING PROJECTION ALIGNER AND METHOD FOR FABRICATING DEVICE USING IT例文帳に追加
走査型露光装置、及びその装置を用いるデバイス製造方法 - 特許庁
LINEAR MOTOR, STAGE, ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
リニアモータおよびステージ装置ならびに露光装置とデバイス製造方法 - 特許庁
ALIGNER, LITHOGRAPHY SYSTEM, MANUFACTURING METHOD OF DEVICE AND THE DEVICE例文帳に追加
露光装置及びリソグラフィシステム、並びにデバイス製造方法及びデバイス - 特許庁
ALIGNER AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT USING THE SAME例文帳に追加
露光装置及び該露光装置を用いた半導体素子の製造方法 - 特許庁
COOLING DEVICE AND METHOD, AND ALIGNER INCLUDING THE SAME例文帳に追加
冷却装置及び方法、当該冷却装置を有する露光装置 - 特許庁
PROJECTION OPTICAL UNIT, ALIGNER, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
投影光学ユニット、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 - 特許庁
CORRECTION METHOD OF PHOTORESIST EXPOSURE AMOUNT AND ALIGNER FOR WHICH IT IS EMPLOYED例文帳に追加
フォトレジスト露光量の補正方法及びこれを用いた露光装置 - 特許庁
CONDUCTOR COMPONENT, LINEAR MOTOR, ALIGNER, DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR例文帳に追加
伝導体コンポーネント、リニアモータ、露光装置、デバイス及びその製造方法 - 特許庁
ILLUMINATION OPTICAL APPARATUS AND ALIGNER HAVING ILLUMINATION OPTICAL APPARATUS例文帳に追加
照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置 - 特許庁
REANTIREFLECTION PLATE AND CHARGED-PARTICLE BEAM ALIGNER HAVING THE SAME例文帳に追加
再入射防止板及びそれを有する荷電粒子線露光装置 - 特許庁
VARIABLE SLIT DEVICE, ILLUMINATION OPTICAL DEVICE, ALIGNER, AND METHOD OF EXPOSURE例文帳に追加
可変スリット装置、照明光学装置、露光装置、及び露光方法 - 特許庁
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