「aligner」に関連した英語例文の一覧と使い方(26ページ目) - Weblio英語例文検索

REFLECTIVE OPTICAL ELEMENT FOR ULTRAVIOLET LIGHT, OPTICAL SYSTEM, OPTICAL DEVICE AND ALIGNER例文帳に追加

紫外光用反射光学素子，光学系，光学装置及び露光装置 - 特許庁

ALIGNER AND OUTDOOR AIR INTRODUCTION UNIT, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE USING THE SAME例文帳に追加

露光装置及び外気導入ユニット、それを用いたデバイスの製造方法 - 特許庁

MARK POSITION DETECTION METHOD, MARK POSITION DETECTION APPARATUS, EXPOSURE METHOD, AND ALIGNER例文帳に追加

マーク位置検出方法、マーク位置検出装置、露光方法及び露光装置 - 特許庁

ALIGNER, ALIGNING METHOD, OPTICAL DISK DEVICE, AND RECORDING AND/OR REPRODUCING METHOD例文帳に追加

露光装置、露光方法、光ディスク装置、及び記録及び／又は再生方法 - 特許庁

PROJECTION EXPOSURE METHOD, DEVICE MANUFACTURING METHOD USING IT, AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加

投影露光方法、それを用いたデバイス製造方法、及び投影露光装置 - 特許庁

MOVING OBJECT APPARATUS, ALIGNER AND OPTICAL UNIT, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

移動体装置、露光装置及び光学系ユニット、並びにデバイス製造方法 - 特許庁

OPTICAL ELEMENT FOR EXTREME ULTRAVIOLET RAY, AND PROJECTION ALIGNER USING THE SAME例文帳に追加

極端紫外線用の光学素子及びこれを用いた投影露光装置 - 特許庁

STAGE DEVICE, ALIGNER, DEVICE MANUFACTURING METHOD AND MOVEMENT GUIDE METHOD例文帳に追加

ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法ならびに移動案内方法 - 特許庁

COOLING APPARATUS AND METHOD THEREFOR, ALIGNER EQUIPPED THEREWITH, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加

冷却装置及び方法、それを有する露光装置、デバイスの製造方法 - 特許庁

POSITIONER AND ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURE, AND POSITIONING METHOD例文帳に追加

位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法ならびに位置決め方法 - 特許庁

MANUFACTURING METHOD FOR FINE PATTERN, MANUFACTURING METHOD FOR OPTICAL DEVICE, AND ALIGNER例文帳に追加

微細パターンの製造方法、光学素子の製造方法および露光装置。 - 特許庁

CIRCULAR ARC REGION LIGHTING OPTICAL DEVICE AND PROJECTION ALIGNER USING IT例文帳に追加

円弧領域照明光学装置、およびそれを用いた投影露光装置 - 特許庁

PROJECTION OPTICAL DEVICE, PROJECTION ALIGNER, EXPOSURE METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

投影光学装置、投影露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 - 特許庁

ALIGNER, ALIGNING METHOD, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE HAVING FINE PATTERN例文帳に追加

露光装置、露光方法、および微細パターンを有するデバイスの製造方法 - 特許庁

APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING POSITION, ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING MICRO DEVICE例文帳に追加

位置計測装置及び方法、露光装置、並びにマイクロデバイス製造方法 - 特許庁

MANUFACTURING METHOD FOR OPTICAL SYSTEM, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER AND ALIGNING METHOD例文帳に追加

光学系の製造方法、投影光学系、露光装置、および露光方法 - 特許庁

ALIGNER AND ITS USING METHOD, EXPOSURE METHOD, AND MANUFACTURING METHOD OF MASK例文帳に追加

露光装置及びその使用方法、露光方法、並びにマスクの製造方法 - 特許庁

PROJECTION ALIGNER, PROJECTION ALIGNING METHOD AND METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

投影露光装置、投影露光方法、及び半導体装置の製造方法 - 特許庁

To realize a small electron beam proximity aligner with high throughput at low cost.例文帳に追加

高スループットで小型の電子ビーム近接露光装置を低コストで実現する。 - 特許庁

ELECTRON BEAM EXPOSURE METHOD, MASK USED THEREFOR AND ELECTRON BEAM ALIGNER例文帳に追加

電子線露光方法、並びにこれに用いるマスク及び電子線露光装置 - 特許庁

MULTILAYER FILM REFLECTING MIRROR, ALIGNER AND MANUFACTURING METHOD OF INTEGRATED CIRCUIT例文帳に追加

多層膜反射鏡及び露光装置ならびに集積回路の製造方法。 - 特許庁

ELECTROSTATIC CHUCKING METHOD OF RETICLE OR WAFER IN CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER例文帳に追加

荷電粒子線露光装置におけるレチクル又はウエハの静電チャック方法 - 特許庁

ALIGNER, ILLUMINANCE DISTRIBUTION CORRECTION FILTER, AND PROCESS FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

露光装置、照度分布補正フィルター、及び半導体装置の製造方法 - 特許庁

E-TYPE ELECTROMAGNET, ACTUATOR, STAGE UNIT, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

Ｅ型電磁石、アクチュエータ、ステージ装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 - 特許庁

OPTICAL APPARATUS, POSITION DETECTING APPARATUS, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING MICRODEVICE例文帳に追加

光学装置、位置検出装置、露光装置及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁

LINEAR MOTOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND STAGE DEVICE AND ALIGNER例文帳に追加

リニアモータ及びリニアモータ製造方法及びステージ装置並びに露光装置 - 特許庁

ILLUMINATING DEVICE, PROJECTION ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE USING THE SAME例文帳に追加

照明装置、投影露光装置並びにそれを用いたデバイス製造方法 - 特許庁

OPTICAL ELEMENT HOLDING UNIT, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

光学素子保持装置、投影光学系、露光装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁

STAGE APPARATUS, ALIGNER, METHOD OF MANUFACTURING DEVICE, AND METHOD OF DRIVING STAGE例文帳に追加

ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法ならびにステージ駆動方法 - 特許庁

OPTICAL DIAPHRAGM APPARATUS, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

光学絞り装置、投影光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 - 特許庁

RESIST PATTERN FORMING METHOD, ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

レジストパターンの形成方法、露光装置および半導体装置の製造方法 - 特許庁

ILLUMINATION OPTICAL APPARATUS, PROJECTION ALIGNER, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

照明光学装置、投影露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 - 特許庁

To provide an aligner and an aligning method in which the superposition accuracy required by the aligner employing a light source of EUV light can be achieved.例文帳に追加

ＥＵＶ光を光源とする露光装置において要求される重ね合わせ精度を達成することができる露光装置及び方法を提供する。 - 特許庁

To easily obtain higher resolution of an exposure pattern with an inexpensive proximity exposure type aligner without using an expensive projection exposure type aligner.例文帳に追加

高価な投影露光方式の露光機を使用せずに安価な近接露光方式の露光機を使用して露光パターンの高解像度化を容易に実現する。 - 特許庁

To increase efficiency of an exposing process in a system of network-connecting a host computer with an aligner via a network and the aligner used in the same.例文帳に追加

ネットワークを介してホストコンピュータと露光装置とがネットワーク接続されるシステムおよび同システムで使用される露光装置において、露光処理の効率化を図る。 - 特許庁

PATTERN FORMING METHOD, METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL ELEMENT, METHOD FOR MANUFACTURING MICROLENS ARRAY, ILLUMINATOR FOR PROJECTION ALIGNER, PROJECTION ALIGNER AND ABERRATION MEASURING INSTRUMENT例文帳に追加

パターン形成方法、光学素子の製造方法、マイクロレンズアレイの製造方法、投影露光装置の照明装置、投影露光装置、及び収差測定装置 - 特許庁

To provide a wafer aligner apparatus and a wafer inspection apparatus equipped with the wafer aligner apparatus, capable of accurate detection for a cut-out portion in a wafer and for a center position of the wafer.例文帳に追加

ウエハの切欠部やウエハの中心位置の検出を精度良く行えるウエハアライナ装置及びこれを備えるウエハ検査装置を提供すること。 - 特許庁

PROJECTION ALIGNER, MASK STRUCTURE USED FOR THE SAME, EXPOSURE METHOD, SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURED USING THE PROJECTION ALIGNER, AND MANUFACTURE OF THE SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

露光装置、該露光装置に用いるマスク構造体、露光方法、前記露光装置を用いて作製された半導体デバイス、および半導体デバイス製造方法 - 特許庁

EXPOSURE METHOD AND FABRICATION METHOD OF CIRCUIT PATTERN BODY USING THE METHOD, OR ALIGNER AND CIRCUIT PATTERN BODY FABRICATED BY THE ALIGNER例文帳に追加

露光方法及びその露光方法を用いた回路パターン体製造方法、または露光装置及びその露光装置により製造された回路パターン体 - 特許庁

POSITIONING DEVICE, ITS CONTROLLING METHOD, ALIGNER, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING METHOD BY ALIGNER CONTROLLED ACCORDING TO THE CONTROLLING METHOD例文帳に追加

位置決め装置及びその制御方法、並びに露光装置、並びにその制御方法により制御される露光装置により半導体デバイスを製造する製造方法 - 特許庁

To provide an aligner which comprises a coherency detecting means suitable for, for example, an EUV beam, and a method for manufacturing a micro device using the aligner.例文帳に追加

例えばＥＵＶ光に適したコヒーレンシー検出手段を備えた露光装置、及び該露光装置を用いたマイクロデバイスの製造方法を提供することである。 - 特許庁

OPTICAL UNIT, MANUFACTURE THEREOF, OPTICAL SYSTEM AND ALIGNER USING THE SAME, AND MANUFACTURE OF DEVICE USING THE ALIGNER例文帳に追加

光学ユニット、光学ユニットの製造方法、光学ユニットを用いた光学系、光学ユニットを用いた露光装置及びこの露光装置を用いたデバイスの製造方法 - 特許庁

To improve the throughput of an aligner as a whole by reducing the exchange time of a mask in the projection aligner for exposing the mask to a photosensitive substrate.例文帳に追加

マスクを感光基板上に露光する投影露光装置において、マスクの交換時間短縮し、露光装置全体のスループットの向上を目的とする。 - 特許庁

To provide a high accuracy high throughput aligner by suppressing slip of a substrate with respect to a chuck, and a cooling method of the chuck in the aligner.例文帳に追加

基板のチャックに対する滑りを抑え、高精度かつ高スループットの露光装置、および該露光装置におけるチャックの冷却方法を提供する。 - 特許庁

To provide a suitable aligner considering high accuracy, high throughput, miniaturization and a low cost, by improving a member constituting the aligner.例文帳に追加

露光装置を構成する部材を改善することによって、高精度、高スループット、小型化、低コストを考慮した好適な露光装置を提供することを目的とする。 - 特許庁