「aligner」に関連した英語例文の一覧と使い方(29ページ目) - Weblio英語例文検索

ELECTROPHOTOGRAPHIC PRINTED WIRING BOARD, GROUNDING METHOD IN EXPOSURE AND ALIGNER THEREOF例文帳に追加

電子写真プリント配線板用積層板、露光時の接地方法、及びその露光装置 - 特許庁

MASK FOR CHARGED BEAM, CHARGED BEAM ALIGNER USING THE MASK AND MANUFACTURE OF DEVICE例文帳に追加

荷電ビーム用マスク、該マスクを用いた荷電ビーム露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁

GAP CONTROL METHOD FOR MASK AND WORK FOR PROXIMITY EXPOSURE AND PROXIMITY ALIGNER例文帳に追加

プロキシミティ露光におけるマスクとワークのギャップ制御方法およびプロキシミティ露光装置 - 特許庁

To optimize an air conditioning system for the purpose of providing an aligner capable of improving the productivity of the aligner or improving exposure accuracy further.例文帳に追加

露光装置の生産性向上、もしくは露光精度のさらなる向上が可能な露光装置を提供することを目的とした空調システムの最適化を行う。 - 特許庁

To provide an aligner which is high in light utilization efficiency, while suppressing increase in cost.例文帳に追加

コスト上昇を抑制しつつ、光の利用効率が高い露光装置を提供する。 - 特許庁

CONTROLLABILITY EVALUATION METHOD FOR CONTROL SYSTEM, AND PLANARITY MEASURING METHOD OF ALIGNER AND SUBSTRATE例文帳に追加

制御系の制御性評価方法及び露光装置並びに基板のフラットネス計測方法 - 特許庁

To provide an aligner excellent in vibration resistance and capable of high-precision stage positioning.例文帳に追加

防振性に優れ、より高精度なステージの位置決めができる露光装置を提供する。 - 特許庁

SUBSTRATE HOLDING AND CARRYING METHOD, DEVICE THEREFOR, SUBSTRATE HOLDER, SUBSTRATE CARRYING DEVICE, AND ALIGNER例文帳に追加

基板保持搬送方法、基板ホルダ、基板搬送装置、基板保持搬送装置及び露光装置 - 特許庁

PROJECTION ALIGNER, SUBSTRATE HISTORY-RETAINING APPARATUS, AND STORAGE MEDIUM WITH SUBSTRATE HISTORY RETENTION PROGRAM STORED THEREIN例文帳に追加

露光装置、基板履歴保持装置および基板履歴保持プログラムを記憶した記憶媒体 - 特許庁

PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION ALIGNER BY THIS PROJECTION OPTICAL SYSTEM AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

投影光学系、および該投影光学系による投影露光装置、デバイス製造方法 - 特許庁

FOCUSING METHOD, ALIGNING METHOD, EXPOSING METHOD, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

焦点合わせ方法、アライメント方法、露光方法、露光装置、並びにデバイスの製造方法 - 特許庁

OPTICAL ILLUMINATION SYSTEM, PROJECTION ALIGNER, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR ELEMENT, AND METHOD OF EXPOSURE例文帳に追加

照明光学装置、投影露光装置、半導体素子製造方法および露光方法 - 特許庁

LITHOGRAPHY SYSTEM, INFORMATION-COLLECTING DEVICE, SETTING DEVICE, ALIGNER AND METHOD OF MANUFACTURING THE DEVICE例文帳に追加

リソグラフィシステム、情報収集装置、設定装置、露光装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁

ALIGNER, EXPOSURE METHOD, DEVICE MANUFACTURING METHOD, PATTERN FORMING DEVICE, AND ALIGNING METHOD例文帳に追加

露光装置、露光方法、デバイス製造方法、パターン形成装置および位置合わせ方法 - 特許庁

CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER, MANUFACTURING METHOD OF DEVICE, AND CHARGED PARTICLE BEAM APPLICATION DEVICE例文帳に追加

荷電粒子線露光装置及びデバイスの製造方法並びに荷電粒子線応用装置 - 特許庁

OPTICAL ELEMENT, OPTICAL ELEMENT HOLDING DEVICE, TEMPERATURE ADJUSTING DEVICE, ALIGNER AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加

光学素子、光学素子保持装置、温度調節装置、露光装置及びデバイスの製造方法 - 特許庁

REFLECTION TYPE PROJECTION OPTICAL SYSTEM AND ALIGNER HAVING THE SAME例文帳に追加

反射型投影光学系及び当該反射型投影光学系を有する露光装置 - 特許庁

EXPOSING SYSTEM, METHOD FOR FABRICATING DEVICE, FACTORY FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR AND METHOD FOR MAINTAINING ALIGNER例文帳に追加

露光システム、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 - 特許庁

METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING MARK, EXPOSURE METHOD AND ALIGNER, AND DEVICE例文帳に追加

マーク検出方法及びマーク検出装置、露光方法及び露光装置、並びにデバイス - 特許庁

PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION ALIGNER, METHOD OF MANUFACTURING PROJECTION OPTICAL SYSTEM AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加

投影光学系、投影露光装置、投影光学系の製造方法及び露光方法 - 特許庁

PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER HAVING THE PROJECTION OPTICAL SYSTEM, DEVICE MANUFACTURING METHOD AND DEVICE例文帳に追加

投影光学系、該投影光学系を有する露光装置、デバイス製造方法及びデバイス - 特許庁

VIBRATION SUPPRESSION DEVICE, CONTROL METHOD THEREFOR, ALIGNER AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

振動抑制装置及びその制御方法、露光装置、半導体デバイスの製造方法 - 特許庁

PROJECTION ALIGNER AND ITS MAINTENANCE METHOD, DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT例文帳に追加

露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 - 特許庁

To provide an aligner that is constituted so as to improve a wafer positioning precision.例文帳に追加

ウェハの位置決め精度を向上できるように構成されたアライナーを提供すること。 - 特許庁

In the aligner 17 exposure processing of a substrate W is executed by immersion method.例文帳に追加

露光装置１７においては、液浸法により基板Ｗの露光処理が行われる。 - 特許庁

MULTILAYERED FILM REFLECTING MIRROR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

多層膜反射鏡、露光装置、デバイス製造方法、多層膜反射鏡の製造方法 - 特許庁

PROJECTION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER HAVING THE SAME, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

投影光学系、当該投影光学系を有する露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁

ALIGNER AND EXCHANGING METHOD AND EXPOSURE METHOD FOR VARIABLE-PATTERN FORMING DEVICE IN EXPOSURE DEVICE例文帳に追加

露光装置、該露光装置における可変パターン生成装置の交換方法及び露光方法 - 特許庁

OPTICAL DEVICE, GAS SUBSTITUTION METHOD OF OPTICAL DEVICE, ALIGNER, AND EXPOSURE METHOD例文帳に追加

光学装置及び光学装置のガス置換方法並びに露光装置及び露光方法 - 特許庁

MOBILE UNIT DEVICE AND METHOD OF DRIVING MOBILE UNIT, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

移動体装置及び移動体駆動方法、露光装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁

To effectively manufacture an aligner without using a dedicated large- sized adjusting jig.例文帳に追加

専用の大型の調整治具を用いることなく、効率的に露光装置を製造する。 - 特許庁

VACUUM ULTRAVIOLET OPTICAL MEMBER, ALIGNER PROVIDED THEREWITH, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

真空紫外用光学部材およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法 - 特許庁

SEMICONDUCTOR ALIGNER, MANAGEMENT SYSTEM THEREFOR AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

半導体露光装置および半導体露光装置管理システムならびにデバイス製造方法 - 特許庁

ALIGNER AND EXPOSURE METHOD, DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND MEASUREMENT METHOD AND APPARATUS例文帳に追加

露光装置及び露光方法、デバイス製造方法、並びに測定方法及び測定装置 - 特許庁

STAGE-POSITIONING APPARATUS AND CONTROL METHOD THEREOF, PROJECTION ALIGNER, AND MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

ステージ位置決め装置及びその制御方法、露光装置、半導体デバイスの製造方法 - 特許庁

The information is fed back to the aligner 14 to correct the beam axis of the electron beam.例文帳に追加

この情報は、アライナ１４にフィードバックされて電子ビームのビーム軸が補正される。 - 特許庁

LOAD-CANCELING MECHANISM, VACUUM CHAMBER COUPLING BODY, ALIGNER, AND PRODUCING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

荷重キャンセル機構、真空チャンバ結合体、露光装置及び半導体デバイスの製造方法 - 特許庁

CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE MASK, ITS MANUFACTURE, AND ALIGNER AND METHOD USING THE SAME例文帳に追加

荷電粒子ビーム露光マスク、その製造方法、それを用いた露光装置及び露光方法 - 特許庁

The offset value computed by this superposition measurement is automatically transferred within the aligner.例文帳に追加

この重ね合わせ測定により算出されたオフセット値を露光装置内で自動転送する。 - 特許庁

This holding method is a method which holds a wafer 15 on an electrostatic chuck 16 of an aligner.例文帳に追加

本方法は、露光装置の静電チャック１６上にウエハ１５を保持する方法である。 - 特許庁

POSITION DETECTOR AND PROJECTION ALIGNER AND EXPOSURE METHOD USING THE DETECTOR例文帳に追加

位置検出装置及び該位置検出装置を用いた投影露光装置及び露光方法 - 特許庁

AXIAL ALIGNER, FILM THICKNESS MEASURING APPARATUS, FILM FORMING APPARATUS, METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING FILM THICKNESS例文帳に追加

軸出し装置、膜厚測定装置、成膜装置、軸出し方法及び膜厚測定方法 - 特許庁

ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM, ALIGNER HAVING THE SYSTEM, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

照明光学系、当該照明光学系を有する露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁

To provide an aligner and a method for exposure having a simple and practical proximity blind.例文帳に追加

シンプルで実用的なプロキシミティブラインドを有する露光装置及び露光方法を提供する。 - 特許庁

To make the focus measurement point and an offset point coincide with superior accuracy in an aligner.例文帳に追加

露光装置においてフォーカス計測ポイントとオフセット測定ポイントを高精度に一致させる。 - 特許庁