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cation dependenceの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
To provide a sulfonium salt in which when used for a resist material, there are little elution and pattern dependence (dark bright difference) to a soaking water, and which is useful as a photoacid generator of a chemistry amplification resist material, and has a fluoro alkoxy chain into a cation part.例文帳に追加
レジスト材料に用いた場合に液浸水への溶出およびパターン依存性（ダーク・ブライト差）が少なく、化学増幅レジスト材料の光酸発生剤として有用である、カチオン部分にフルオロアルコキシ鎖を有するスルホニウム塩の提供。 - 特許庁
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