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multi-target sputteringの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 8件
SPUTTERING TARGET, SPUTTERING APPARATUS, SPUTTERING METHOD, AND MULTI-LAYERED FILM例文帳に追加
スパッターターゲット、スパッター装置、スパッター方法及び多層膜 - 特許庁
MULTI-SEGMENTAL SPUTTERING TARGET AND MANUFACTURING METHOD OF THIN FILM例文帳に追加
多分割スパッタリングターゲットおよび薄膜の製造方法 - 特許庁
To provide a leaf system multi-segmental ITO sputtering target, which restrains cracking of a target generating during vacuum exhaust and/or sputtering, and has a minor axis of 0.7-1.0 times as long as a major axis.例文帳に追加
真空排気時および／またはスパッタリングを行った際に発生するターゲットの割れを抑制した、短軸が長軸の０．７〜１．０倍である枚葉式多分割ＩＴＯスパッタリングターゲットを提供する。 - 特許庁
The sputtering target is a multi-component target composed of silicon single crystal and high melting point metal and is used at film deposition on a substrate.例文帳に追加
基板上に成膜する際に用いるスパッタリングターゲットであって、シリコン単結晶と高融点金属からなる複合ターゲットであることを特徴とするスパッタリングターゲット。 - 特許庁
SPUTTERING TARGET, MANUFACTURING METHOD FOR SUBSTRATE WITH MULTI-LAYERED REFLECTING FILM, MANUFACTURING METHOD FOR REFLECTION TYPE MASK BLANK, AND MANUFACTURING METHOD FOR REFLECTION TYPE MASK例文帳に追加
スパッタリングターゲット、多層反射膜付き基板の製造方法、及び反射型マスクブランクの製造方法、並びに反射型マスクの製造方法 - 特許庁
To provide an alloy containing a multi-component oxide which is used for a sputter target, and capable of depositing a thin film by the sputtering.例文帳に追加
スパッタターゲットに使用することができ、スパッタして薄膜を形成することができる、多重成分の酸化物を含有する合金を提供する。 - 特許庁
The multi-segmental target is used for a rocking magnet type sputtering apparatus and formed by arranging a plurality of target members on a backing plate and the grinding direction of the surface of each target member is in ≤±10° of the normal line to the rocking direction of the magnet.例文帳に追加
揺動磁石型スパッタリング装置用に用いられる、バッキングプレート上に複数のターゲット部材を配設してなる多分割ターゲットであって、各ターゲット部材表面の研削方向が、磁石の揺動方向に対する法線方向の±１０度以内にある多分割ターゲット。 - 特許庁
To provide an inexpensive target capable of reducing particles produced during the sputtering that is a problem in a multi-fraction target applied to cope with the jumboizing of the target for thin film deposition used in manufacturing products of flat panel displays such as semi-conductor, magnetic disk and liquid crystal at low cost.例文帳に追加
半導体、磁気ディスク、液晶等の平面表示装置（フラットパネルディスプレイ）等の製品の製造に用いられている薄膜形成用のターゲットの大型化に対応するために適用されている多分割ターゲットで問題となっている、スパッタリング時に発生するパーティクルを抑制するための低コストなターゲットを提供する。 - 特許庁
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