「Radiation pattern」を含む例文一覧(1331)
＜前へ 1 2 .... 13 14 15 16 17 18 19 20 21 .... 26 27 次へ＞- To provide a negative radiation-sensitive two-layer laminated film excellent in printability of solder paste and pattern shape and easy to peel from a substrate, and a method for producing bumps using the same.
半田ペーストの印刷性、およびパターン形状に優れ、基板からの剥離も容易であるのネガ型感放射線性二層積層膜、およびこれを用いたバンプの製造方法を提供する。 - 特許庁 - As a result, side lobes or back lobes are reduced and a superior radiation pattern can be formed which includes an amply large main lobe extending, in the desired direction (toward the longitudinal axis 290).
その結果、サイドローブやバックローブを低減し、所望の方向（縦軸２９０の方向）に延びる十分に大きなメインローブを有する良好な放射パターンを形成することができる。 - 特許庁 - To obtain a copolymer having an excellent focal depth margin and excellent line-end foreshortening resistance without impairing basic properties as a resist such as a pattern shape, dry-etching resistance, heat resistance, etc., and a radiation-sensitive resin composition.
パターン形状、ドライエッチング耐性、耐熱性等のレジストとしての基本物性を損なうことなく、焦点深度余裕に優れると共に、ラインエンドフォアショートニング耐性に優れる。 - 特許庁 - Short-circuit conductor plates electrically conducting radiation conductors and ground conductors are disposed properly at places, where an excitation in a mode excepting a desired mode is suppressed, and the turbulence of a radiant pattern at a band end is suppressed.
放射導体と地導体を導通する短絡導体板を所望外のモードの励振を抑制する位置に適宜配設、帯域端における放射パターンの乱れを抑制する。 - 特許庁 - To provide a pattern forming method and an active ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition excellent in limit resolution, roughness characteristics, exposure latitude (EL) and bridge defect characteristics.
限界解像力、ラフネス特性、露光ラチチュード（ＥＬ）、及びブリッジ欠陥特性に優れたパターン形成方法並びに感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁 - To provide radiation sensitive resin composition, giving a resin film having excellent contactness to various kinds of materials, high heat resistance, ITO electrode processability, and excellent pattern processability.
種々の材料に対する密着性に優れ、高い耐熱性を有し、ＩＴＯ電極加工性、及びパターン加工性に優れた樹脂膜を与える感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁 - To provide a radiation sensitive resin composition having not only excellent sensitivity and resolution but also large depth of focus and excellent pattern peel-off resistance even on a substrate with high reflectivity.
感度、解像度が優れているだけでなく、焦点深度が広く、高反射率基板上でもパターン剥がれ耐性に優れる感放射線性樹脂組成物を提供すること。 - 特許庁 - To stably keep electric connection between a GND pattern and a shield case by a simple structure even under an environment having large vibration, and to improve measures for the spurious radiation or ESD characteristics.
振動の多い環境下にあっても、簡易な構造で、ＧＮＤパターンとシールドケースとの電気的接続を安定して維持し、不要輻射対策やＥＳＤ特性の向上を図る。 - 特許庁 - Further, the radiation pattern characteristics of the antenna can be adjusted from a characteristic close to a nondirectional characteristic to a sharp directional characteristic by varying the length of the loop having one end short-circuited.
さらに、一端を短絡した方のループ長を変化させることにより、アンテナの放射パターン特性を、無指向性に近い特性から、鋭い指向特性まで調整が可能である。 - 特許庁 - A pattern 2 of array marks 20 widely distributed on a substrate 1, and arrays 21 and 22 of dots, are projected on the substrate 1 by a beam patterning and projection system 3 with a patterning radiation beam.
基板１上に広く分布する整列マーク２０のパターン２、ドットの列２１、２２を、一方ビームパターニングおよび投影システム３によりパターン化放射線ビームを基板１上に投影する。 - 特許庁 - Accordingly, when the dual-band antenna is operated at about 2.45 GHz and about 5.4 GHz, proper radiation pattern and antenna gain applicable to IEEE802.11b/g/a/j or Bluetooth(R) specifications can be obtained.
そのため、デュアルバンドアンテナが約２．４５ＧＨｚおよび５．４ＧＨｚで操作されるとき、ＩＥＥＥ８０２．１１ｂ／ｇ／ａ／ｊまたはブルートゥース規格に適用する良好な放射パターンおよびアンテナ利得を得ることができる。 - 特許庁 - To provide an antenna system with a lightning stroke protection apparatus at a low cost wherein an effect of a lightning rod onto an antenna less deteriorates the radiation pattern of the antenna even during transmission or reception.
送信中又は受信中においても避雷針がアンテナに影響してアンテナの放射パターンを劣化させることが少なく，かつ，ローコストな雷撃保護装置付きアンテナ装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a chemical amplification type resist composition giving a resist pattern excellent in transparency particularly to radiation and property for dry etching and excellent further in sensitivity, resolution, flatness, heat resistance, etc.
特に放射線に対する透明性、ドライエッチング性に優れ、さらに感度、解像度、平坦性、耐熱性等に優れたレジストパターンを与える化学増幅型レジスト用組成物を提供すること。 - 特許庁 - In the antenna system 100, a wiring pattern 107 of an RE transmission/reception circuit is provided to the same layer that a first ground electrode 106 being a ground side of a radiation electrode 102.
アンテナ装置１００は、ＲＦ送受信回路の配線パターン１０７が放射電極１０２のグランド面である第１のグランド電極１０６と同じ層に設けられている。 - 特許庁 - To provide an antenna system wherein an antenna element is placed on a ground plate and different kinds of antennas are formed on a limited space and simultaneous control of a radiation pattern and an operating frequency are made possible.
グランド板にアンテナ素子が設置されるアンテナ装置において、限定された空間上に異種のアンテナを形成し、放射パターンや動作周波数の同時制御を可能とすること。 - 特許庁 - A predetermined pattern is formed by exposing and developing the positive resist layer 13 as the upper layer with an ionizing radiation in a wavelength range capable of having decomposing reaction of the positive resist layer (PMIPK) 13.
次に、ポジ型レジスト層（ＰＭＩＰＫ）１３が分解反応する波長域の電離放射線にて上層のポジ型レジスト層１３を露光、現像して所定のパターンを形成する。 - 特許庁 - The projection beam PB of radiation makes an exposed region 1" and a nonexposed region 2" on a resist layer R, corresponding to the light region 1 and the dark region 2 of a mask pattern.
前記放射線の投影ビームＰＢは、マスクパターンの明領域１および暗領域２に対応して、それぞれ、レジスト層Ｒ上に露出領域１″および非露出領域２″を作る。 - 特許庁 - A short-circuit conductor 11 connected to a radiation conductor board 8 is short-circuited to a ground conductor plate 9 via a ground wiring pattern of a high frequency circuit section of a printed circuit board 10.
放射導体板８に接続された短絡導体１１はプリント回路基板１０の高周波回路部のグランド配線パターンを介して接地導体板９に短絡するようにしている。 - 特許庁 - The photosensitive composition contains a compound which generates a specific alkane sulfonic acid by irradiation with active rays or radiation, and the method for forming a pattern is carried out, using the photosensitive composition.
活性光線又は放射線の照射により特定のアルカンスルホン酸を発生する化合物を含有する感光性組成物及び該感光性組成物を用いたパターン形成方法。 - 特許庁 - To provide a radiation-sensitive resin composition for soft X rays which has high sensitivity, high resolution, and a rectangular pattern shape and also has a superior LER characteristic and superior dry etching resistance.
高感度、高解像性で矩形なパターン形状を有し、ＬＥＲ特性及びドライエッチング耐性に優れた特性を有する軟Ｘ線用感放射線性組成物を提供する。 - 特許庁 - As a result, the gain on the side where the second conductive board 5 is present becomes larger, as compared with that when second conductive board 5 is not provided, and this results in the radiation pattern approximating that of omnidirectionality.
この結果、第２の導体板５の存在する側の利得は、第２の導体板５を設けない場合と比較して高くなり、無指向性に近い放射パターンが得られる。 - 特許庁 - To obtain an antenna system capable of preventing a current distribution on a rear mirror plane from being disordered and suppressing deformation of a radiation pattern and a decrease in gain without spoiling the strength of a ring-shaped supporter.
リング状支持具の強度を損なうことなく、後鏡面上の電流分布の乱れを防ぎ、放射パターンの変形や利得の低下を抑制することのできるアンテナ装置を得る。 - 特許庁 - By irradiating light, an electron beam or radiation to the resist substrate to draw an image and developing by using an alkaline developing agent, the pattern having the high sensitivity and high resolution can be formed.
このレジスト基板に光、電子線または放射線を照射して描画し、アルカリ現像液を用いて現像することにより、高感度・高解像度のパターンを形成することができる。 - 特許庁 - A varistor green sheet, an internal electrode pattern and a heat radiation green sheet are prepared in a preparation process, and a green layered product is provided by laminating the green sheets in a lamination process S5.
準備工程においてバリスタグリーンシートと、内部電極パターンと、放熱グリーンシートとを準備し、積層工程Ｓ５において、これらのグリーンシートを積層してグリーン積層体を得る。 - 特許庁 - To provide a resin for radiation-sensitive material, etc., having excellent transparency and high sensitivity to far-ultraviolet rays, good in tight adhesion to a substrate, having etching resistance, and capable of minute pattern processing.
遠紫外線に対して優れた透明性と高感度を有し、基板との密着性が良く、エッチング耐性を持ち、微細パターン加工可能な放射線感光材料用樹脂等を提供する。 - 特許庁 - To provide a positive radiation-sensitive resin composition suitable for use as an etching mask material, particularly a mask material for etching gold, excellent in resolution during pattern formation and also in etching properties.
パターン形成時の解像度に優れ、しかもエッチング性に優れる、エッチング用マスク材、特に金エッチング用マスク材として好適なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁 - A processing parameter selector 12 comprising a plurality of preset indicators corresponding to a specified difference of parameter value is also provided wherein the specified difference of parameter value and the specified distance correspond to a specified radiation pattern.
所定のパラメータ値差に対応する複数のプリセット・インジケータを含む処理パラメータ選択装置１２を備え、所定のパラメータ値差および所定距離は、所定放射パターンに対応する。 - 特許庁 - To provide a radiation-sensitive resin composition having improved edge roughness of a resist pattern in the production of a semiconductor device, excellent in the change with time of preservability and excellent further in density dependence.
半導体デバイスの製造において、レジストパターンのエッジラフネスが改善され、経時保存性が優れ、更に疎密依存性に優れた感放射線性樹脂組成物を提供すること。 - 特許庁 - To provide a radiation sensitive resin composition excellent in resolution and line edge roughness without spoiling basic physical properties as a resist, such as pattern shape, dry etching resistance and heat resistance.
パターン形状、ドライエッチング耐性、耐熱性等のレジストとしての基本物性を損なうことなく、解像度およびラインエッジラフネスに優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁 - The lithography system includes an illumination system for providing a radiation beam, a support for supporting a pattern forming device, a substrate table, and a projection system.
本発明のリソグラフィ装置は、放射ビームを提供するように構成された照明系、パターン形成装置を支持するように構成された支持体、基板テーブル及び投影システムを含む。 - 特許庁 - To provide a new annular patch antennas which has an excellent radiation pattern and axis ratio even when the use frequency of the antenna is relatively high, and an annular patch array antenna system using the same.
アンテナの使用周波数が比較的に高い場合にも良好な放射パターンと軸比を得る新規な円環パッチアンテナ及びこれを用いた円環パッチアレイアンテナ装置を提供すること。 - 特許庁 - No metal-containing accessory pattern is provided on a part adjacent to an electrode pad on a thin scribe line to a degree that laser radiation is necessary prior to dicing.
ダイシングに先立ちレーザ照射する必要がある程度に細いスクライブライン上であって、電極パッドに隣接する部分には金属を含むアクセサリパターンを配置しないようにした。 - 特許庁 - To provide a pattern forming method using a photosensitive or radiation sensitive composition having satisfactory sensitivity to light and suitable for lithography using short-wavelength light such as far ultraviolet light.
光に対する感度が十分あり、遠紫外光等の短波長光を用いたリソグラフィには適した光または放射線感応性組成物を用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁 - To solve the problem that, if a mobile communication base station having an adaptive array antenna is out of synchronism with a mobile station, reconnection by switching a radiation pattern of radio waves is not performed promptly.
アダプティブアレイアンテナを有する移動体通信基地局が移動局との同期を消失した場合に、電波の放射パターンを切り換えて再接続することが迅速に行われない。 - 特許庁 - A predetermined pattern is formed by exposing and developing the positive resist layer 12 as the lower layer with an ionizing radiation in a wavelength range capable of having decomposing reaction of the positive resist layer (PMMA) 12.
次に、ポジ型レジスト層（ＰＭＭＡ）１２が分解反応する波長域の電離放射線にて下層のポジ型レジスト層１２を露光、現像して所定のパターンを形成する。 - 特許庁 - The resist pattern is obtained by forming a base blocking antireflection film from the above composition on a resist coating film formed on a substrate, irradiating the resist with radiation, and developing.
レジストパターンは、基板上に形成したレジスト被膜上に当該組成物から塩基遮断性反射防止膜を形成したのち、放射線を照射し、現像することによって形成される。 - 特許庁 - To provide a radiation sensitive resin composition having high transparency particularly to ArF excimer laser light and excellent in basic solid state properties as a resist such as sensitivity, resolution and pattern shape.
特にＡｒＦエキシマレーザーに対する透明性が高く、感度、解像度、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁 - Further, when the information pattern of the printed matter is read, a light having a radiation peak on an almost same wavelength as the infrared absorption peak wavelength of each infrared absorber.
また、この印刷物の情報パターンを読み取る際には、各赤外吸収体の赤外吸収ピーク波長と略同じ波長に発光のピークを有する光を順次照射する。 - 特許庁 - [3] A method for producing a transparent film is provided in which a layer comprising the radiation sensitive resin composition described in the above [1] is formed on a substrate, exposed, and developed to form a pattern.
〔３〕前記〔１〕に記載の感放射線性樹脂組成物からなる層を基板の上に形成し、該層を露光したのち現像してパターンを形成する透明膜の製造方法。 - 特許庁 - To provide a dual-band antenna which has a simple structure, can be made sufficiently wide in bandwidth, and has a radiation pattern with nearly 8-shaped section, and is suitable for the antenna of a portable telephone set, etc.
簡単な構造で帯域幅を十分に広くでき、しかも放射パターンが断面略８の字であって、携帯電話機などのアンテナとして好適なデュアルバンドアンテナを提供する。 - 特許庁 - To make it possible to carry out beam radiation in a light distribution pattern in immediate response to vehicle's run conditions, in a vehicle headlamp housing a lighting apparatus unit within a lamp body.
ランプボディの内部に灯具ユニットが収容されてなる車両用前照灯において、車両走行状況に即応した配光パターンでビーム照射を行えるようにする。 - 特許庁 - To provide an actinic ray sensitive or radiation sensitive resin composition that excels in roughness property, exposure latitude, depth of focus and development defect performance and that allows to form a fine isolated line pattern of favorable shape, and to provide a pattern forming method using the same.
ラフネス特性、露光ラチチュード、焦点深度及び現像欠陥性能に優れ且つ良好な形状の微細な孤立ラインパターンを形成可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供すること。 - 特許庁 - To obtain a resin composition suitable for use as the resin component of a chemical amplification type positive type photoresist which exhibits superior sensitivity and resolution and gives a pattern having a good cross-sectional shape when a fine resist pattern is formed using radiation, e.g. KrF excimer laser light.
放射線、例えばＫｒＦエキシマレーザーを用いて微細なレジストパターンを形成する際に、優れた感度、解像度を示し、かつ断面形状の良好なパターンを与える化学増幅型ポジ型ホトレジストの樹脂成分として好適な樹脂組成物を提供する。 - 特許庁 - To provide a novel radiation-sensitive composition for a color filter, which is free of undissolved substances remained or a scum on a pattern edge during development, and gives a pixel and a black matrix without chipping in a pattern edge or undercut even when the luminous energy of exposure is low.
現像時に未溶解物が残存したり、パターンエッジにスカムを生じたりすることがなく、かつ低露光量でもパターンエッジの欠けおよびアンダーカットを生じることがない画素およびブラックマトリックスを与える新規なカラーフィルタ用感放射線性組成物を提供する。 - 特許庁 - To provide a radiation-sensitive resin composition capable of being coated in slit coating at a high speed, obtaining a pattern-like thin film having desired pattern size even in a low exposure amount and superior in strength and being developed in a short time period.
スリット塗布における高速塗布が可能であり、低露光量であっても所望のパターン寸法を有し且つ強度に優れるパターン状薄膜が得られ、短い時間で現像可能である感放射線性樹脂組成物を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition that simultaneously satisfies high sensitivity, high resolution, good pattern profile and good line edge roughness, to provide a pattern forming method using the composition and a resin purifying method used for the composition.
高感度、高解像性、良好なパターン形状及び良好なラインエッジラフネスを同時に満足させる、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、該組成物を用いたパターン形成方法及び該組成物に用いられる樹脂の精製方法を提供する。 - 特許庁 - To solve the problem that the dependency on the critical dimension (CD) pitch of a lithographic pattern printing process is associated with the spectrum intensity distribution of radiation used for projecting a pattern and therefore changes from system to system, which is a cause of mismatching of iso-dense bias among systems.
リソグラフィ・パターン印刷プロセスのＣＤピッチ依存性は、パターンを投影するために使用される放射のスペクトル強度分布に関連付けられるので、システム毎に変化するため、システム間における孤立−稠密バイアス不整合の原因になっている。 - 特許庁 - A control circuit 40 detects opening of the case 11 based on comparison between a signal pattern P of a received optical signal output from the light-receiving sensor 28, in response to the radiation light Ld for detection from the light source 22 for detecting opening and a pattern Pd for detecting opening.
そして、制御回路４０は、開封検知用光源２２からの検知用照射光Ｌｄに応じて受光センサ２８から出力される受光信号の信号パターンＰと開封検知用パターンＰｄとの比較に基づいて筐体１１の開封を検知する。 - 特許庁 - To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition which is improved in developability and enables to form a pattern having good conformability to an immersion liquid in liquid immersion exposure, and a pattern forming method using the composition.
現像性が改善され、更に、液浸露光時に於ける液浸液に対する追随性が良好なパターンを形成することが可能な感活性光線性または感放射線性樹脂樹脂組成物、及び該組成物を用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a titanium black dispersion composition for a solid state imaging element, wherein the storage stability of a dispersion composition containing titanium black is high, and to provide a black radiation-sensitive composition, in which roughness is not generated on the upper face of the pattern and flatness is excellent when forming a pattern.
チタンブラックを含む分散組成物の保存安定性の高い固体撮像素子用のチタンブラック分散組成物、およびパターン形成したときに、パターン上面の荒れが発生せず、平坦性の良好な黒色感放射線性組成物を提供する。 - 特許庁
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