「electron microscope」を含む例文一覧(1821)
＜前へ 1 2 .... 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 次へ＞- To prevent a charged particle beam from deviating from its optical axis, irrespective of the direction (parallel or perpendicular to the optical axis) of a magnetic field applied to a sample, in an apparatus using a charged- particle-beam optical system which includes electron microscope.
電子顕微鏡を含む荷電粒子線光学系を用いた装置において、試料に印加する磁場の方向（光軸と平行、もしくは、垂直）に係らず、荷電粒子線の光軸からのずれが生じないようにすること。 - 特許庁 - The transmission electron microscope having a sample arranged in a sample surface 9b includes an objective lens 11b, a first projection lens system 61b having a plurality of lenses, a second projection lens system 63b having a plurality of lenses, and the analysis system.
試料面内９ｂに試料を配置した透過電子顕微鏡は、対物レンズ１１ｂ、複数のレンズを有する第１投影レンズ系６１ｂ、複数のレンズを有する第２投影レンズ系６３ｂ、および分析系を備える。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope capable of attaining both photographing and preservation of a moving image and a still image and especially attaining photographing and preservation of the moving image and photographing of the still image with high image quality.
本発明の目的は、動画の撮影・保存と静止画撮影・保存がいずれも可能な走査電子顕微鏡、特に動画の撮像・保存と、高画質な静止画像が撮影できる走査電子顕微鏡を提供することにある。 - 特許庁 - To provide an objective lens for an electron microscope system requiring a smaller space and having a minimum magnetic field outside the objective lens, and to provide an improved inspection system for performing image formation for a subject and manipulation of the subject simultaneously.
必要とされる空間がより少なく、対物レンズ外部の磁界が最小限である電子顕微鏡システムのための対物レンズ、被検物体の像形成および操作を同時に行うための改良検査システムを提供する。 - 特許庁 - To provide an electron microscope which can perform real-time observation by correcting deterioration of images which is brought about when charged particle beams are scanned with a speed exceeding the upper limit of a band width of a secondary signal detector and its amplifying circuit.
二次信号検出器およびその増幅回路の帯域幅の上限を超える速さで荷電粒子線を走査した場合に発生する画像の劣化を補正し、リアルタイム観察が可能な電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁 - The microtomy for the transmission type electron microscope is characterized by that only glass fiber is eroded by dipping glass fiber mixed polymer in a hydrofluoric acid solution with a concentration of ≥0.01 vol.% and ≤1 vol.% for ≥ five minutes and ≤24 hours.
ガラス繊維配合ポリマーを、0.01vol％以上1vol%以下の濃度のフッ化水素酸水溶液に5分以上24時間以下浸漬し、ガラス繊維のみを浸食させることを特徴とする透過型電子顕微鏡の検鏡試料作成法。 - 特許庁 - To realize high resolving power of an electron microscope or charged particles beam process device or improvement of process precision by suppressing a thing that charged particles generated secondarily arrive at a sample.
本発明は、二次的に発生する荷電粒子の試料への到達を抑制することにより、電子顕微鏡や荷電粒子線加工装置の高分解能化、或いは加工精度の向上を実現ならしめることを目的とするものである。 - 特許庁 - To provide a conveying device of a mini-environment system efficiently conveying a sample to a scanning electron microscope for critical dimension measuring, even when an SMIF-pod (standard mechanical interface-pod) housing only one piece of photomask is used.
１枚のフォトマスクしか収納することはできないスミフポッドを使用する場合でも、効率的に、試料を微小寸法測定走査電子顕微鏡に搬送することができるミニエンバイラメント方式の搬送装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a sample setting method capable of setting a sample for a transmission electron microscope (TEM) in a sample holder without fixing it to an auxiliary plate and facilitated in fixing of insertion length of the TEM sample.
透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）用試料を、補助板などに装着固定することなく試料ホルダーへの装着を行うことが出来、かつＴＥＭ試料の挿入長を一定にすることが容易な試料装着方法を提供する。 - 特許庁 - In a scanning electron microscope in which a lubricant is coated on a sliding portion of a movable member that moves inside a vacuum chamber, a substance from which low molecular components were removed is used as the lubricant.
以上のような目的を達成するために、真空室内にて移動する移動部材の摺動部分に潤滑剤を塗布した走査型電子顕微鏡において、当該潤滑剤として、低分子成分が除去されたものを採用する。 - 特許庁 - To provide a charged particle beam device allowing observation by an electron microscope to be rapidly carried out by correctly detecting a foreign substance in a film without causing LMIS pollution; a sample processing method; and a semiconductor inspection device.
ＬＭＩＳ汚染を発生させることなく、膜中の異物を正確に検出し電子顕微鏡による観察を迅速に行うことができる荷電粒子線装置、試料加工方法及び半導体検査装置を提供する。 - 特許庁 - Further as one embodiment, the scanning electron microscope includes a function to correct conditions and the like in an apparatus such as magnification, focus, measuring coordinate and the like varied in accordance with a sample electrification, based on the measured sample height and the sample electrification.
また、その一態様として、測定された試料高さや試料電位に基づいて、試料帯電によって変動する装置条件（例えば倍率，フォーカス，観察座標等）を補正する走査電子顕微鏡を提案する。 - 特許庁 - To evade failure in X-ray analysis caused by coming-out from a sample position where an X-ray is efficiently taken in, when executing the X-ray analysis following to sample observation by a scanning electron microscope.
走査電子顕微鏡による試料観察に引き続いてＸ線分析を実行する場合に、試料の位置がＸ線を効率良く取り込める位置から外れていることでＸ線分析が失敗してしまうことを回避する。 - 特許庁 - Particles of a heteropoly acid salt catalyst of formula (1) are observed with an electron microscope, the diameters of the individual particles in a photograph in a randomly extracted visual field are measured, and the arithmetic mean of the diameters is adopted as the average particle diameter.
すなわち、電子顕微鏡で式（１）のヘテロポリ酸塩触媒粒子を観察して、無作為に抽出した視野の写真から粒子１つ１つの直径を測定して、その直径の相加平均を平均粒子径とする。 - 特許庁 - When characterization of the tip of a diamond probe 1 for machining is needed, a high resolution scanning electron microscope observation at a high accelerating voltage is performed for the tip of the diamond probe 1 in use for machining under a water vapor atmosphere.
加工用ダイヤモンド探針１の先端のキャラクタリゼーションが必要なときは使用している加工用ダイヤモンド探針1の先端を水蒸気雰囲気下での高加速電圧の高分解能走査電子顕微鏡観察を行う。 - 特許庁 - In this electron microscope, the electrons are applied to a sample on the basis of the predetermined image observing condition, and a desired position of the sample can be observed with a desired observing magnification by detecting the secondary electrons or reflected electrons.
電子顕微鏡は、所定の像観察条件に基づいて電子を試料に照射し、二次電子または反射電子を検出することで、試料の所望の位置を所望の観察倍率にて像観察することが可能である。 - 特許庁 - As for formation of a buried plug in formation of a wiring contact part, a buried plug is formed by using a conductive material and inspection of burying height by means of a scanning electron microscope is made possible by electrical conductivity of the buried plug.
配線コンタクト部の形成における埋め込みプラグの形成について、導電性材料を用いて埋め込みプラグを形成し、埋め込みプラグの導電性によって走査型電子顕微鏡による埋め込み高さの検査を可能とする。 - 特許庁 - To provide an electron microscope usable not only as one which has a WDX with a big constraint of its installation position but as one which can mount a large-sized testpiece and has a large shifting and observation range of a testpiece size.
取付位置の制約の大きいＷＤＸを備える電子顕微鏡としても、搭載できる試料のサイズや試料の移動範囲および観察範囲の大きい電子顕微鏡としても利用できる電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - A specimen transfer system S used for a semiconductor scanning electron microscope is equipped with a specimen chamber 1, a specimen replacing chamber 2, a loading board 11, a specimen transfer path, a transfer means of the specimens 13, and a control device of controlling the transfer means.
半導体用走査電子顕微鏡用の試料搬送システムＳは、試料室１、試料交換室２、ロードポート１１、試料搬送経路、試料１３の搬送手段、搬送手段を制御する制御装置を備えている。 - 特許庁 - In this manner, the lens barrel is directly mounted to the observation target, and therefore, even the observation target that cannot be housed in the sample chamber of a conventional electron microscope can be observed as it is without processing it.
こうして鏡筒を観察対象物に対し直接マウントすることで、従来では試料室に入りきらない観察対象物であっても加工を施すことなく現状状態そのままで観察を行うことができるようになる。 - 特許庁 - To provide a resolution-evaluating method of an electron microscope, a program and an information storage medium, by which the resolution can be evaluated with high accuracy even in case that a picked-up image involves a factor degrading the accuracy of evaluation.
撮像画像に評価精度を悪化させる要因がある場合であっても、高精度に分解能を評価することが可能な、電子顕微鏡の分解能評価方法、プログラム、及び情報記憶媒体を提供すること。 - 特許庁 - In this chemical bonding condition analyzing method for elements in tungsten and its compound, the chemical bonding condition of the measuring material is analyzed by analyzing the characteristic X-ray wavelength provided from the electron microscope.
タングステンおよびその化合物における元素の化学結合状態分析方法において、測定用材料を電子顕微鏡から取得される特性Ｘ線波長を解析することによって、化学結合状態を分析する。 - 特許庁 - To realize an electron microscope which has adopted for it a normally available exhaust system such as a turbo molecular pump, an ion pump or a rotary pump and which can safely execute observation or adsorption of a highly scarce object.
ターボ分子ポンプやイオンポンプ、あるいはロータリーポンプなどといった通常入手できる排気系を採用した電子顕微鏡において、希少性の高い対象物の観察または吸着を安全に実行できる装置を実現する。 - 特許庁 - To provide a mapping type electron microscope capable of controlling the charge-up amount of a sample between the minimum amount required for observing images and the maximum amount not damaging the sample itself and capturing observed images with less distortion.
試料のチャージアップ量を、像観察に必要な最低量と、試料自身を損傷させることなく、かつ、歪みの少ない観察画像を得られる最大量の間になるように制御の可能な写像型電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide an electron microscope which reduces a sample damage without depending on a measurement magnification or a sample and with the minimized illumination beam, and makes astigmatism correction automatically.
本発明の目的は、測定倍率や試料に依存しないで、また、できる限り照射ビームを少なくして試料損傷低減を図り、自動的に非点収差補正を行うことができる電子顕微鏡を提供することにある。 - 特許庁 - To damp the vibration by converting vibration energy into heat energy when a constituent member of a microscopic analysis device such as an electron microscope is vibrated in a natural vibration mode by the input of ambient vibration, sound.
周囲の振動、音響の入力により、電子顕微鏡等の顕微分析装置の構成部材がそれぞれの固有振動モードにて振動するとき、その振動エネルギを熱エネルギに変換して前記振動を減衰させること。 - 特許庁 - To provide a scanning transmission electron microscope capable of obtaining a scanning transmission image having a specified resolution by deciding an aberration coefficient from Ronchigram and applying feedback of signals correcting each aberration to a device.
ロンチグラムから収差係数を決定し各収差を補正する信号を装置にフィードバックすることにより、指定した分解能を有する走査透過像を得ることができることを特徴とした走査透過電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope which can effectively detect ions excited by primary electrons, reflecting electrons, secondary electrons generated due to bias electrode electric field or the like to obtain an absorption current.
一次電子励起のイオンや反射電子励起のイオン、バイアス電極電界により生じた二次電子励起のイオンなどのイオンを効率よく検出し、吸収電流を得ることができる走査電子顕微鏡を提供することにある。 - 特許庁 - The scanning electron microscope for two-dimensionally scanning an electron beam on a sample to form an image with signals obtained from the sample and sent to display means comprises a means for controlling pressure in a sample cell and a means for sending signals obtained from the sample to the display means by controlling in accordance with the pressure in the sample cell.
試料上で電子線を２次元的に走査し試料から得られる信号を表示手段に送って像を形成する走査電子顕微鏡において、試料室の圧力を制御する手段と、前記試料から得られる信号を前記試料室の圧力に応じて制御して表示手段に送る手段とを備えたことを特徴とする。 - 特許庁 - In the discharge electron detection value estimation method, an electromagnetic field distribution EM of the electronic optical system 4 in an electron microscope body 1 is calculated, while detection values of first emitted electrons 50 from a sample 5 in the electromagnetic field distribution EM and second emitted electrons 52 emitted from the electronic optical system by collision with the first emitted electrons are calculated by a Monte Carlo method.
電子顕微鏡本体１内の電子光学系４の電磁場分布ＥＭを算出し、当該電磁場分布ＥＭにおける試料５からの第１放出電子５０及び第１放出電子の衝突によって電子光学系から放出される第２放出電子５２の検出値をモンテカルロ法によって算出する。 - 特許庁 - A transmission electron microscope comprises a means for calculating an deviation amount in visual field among a plurality of sample permeation images, a means for changing an electric current given in a deflector for deflecting an electron beam or moving a sample to automatically correct the deviations in visual field, and a control means for repeating this operation means to decrease the deviations in the visual field.
透過型電子顕微鏡において、複数の試料透過像間の視野ずれの量を計算する手段と、電子線を偏向させる偏向器に与える電流をかえて、または試料を移動させて視野ずれを自動的に補正する手段と、以上の手段の動作を繰り返して視野ずれを減少させる制御手段とを備える。 - 特許庁 - The mapping type electron microscope includes an illuminating system which irradiates a primary electron beam onto a sample, and the projection imaging optical system 24 which guides a secondary beam irradiated from the sample to a detection system, and the projection imaging optical system 24 is provided with the transfer lens system 24b, having a first zooming lens 6a and a second zooming lens 6b.
試料を照射する１次電子ビームを放出する照射系と、試料から放出された２次電子ビームを検出系へ導く投影結像光学系２４とを備える写像型電子顕微鏡の投影結像光学系２４は、第１のズームレンズ６ａと第２のズームレンズ６ｂとを有するトランスファー・レンズ系２４ｂを備える。 - 特許庁 - In the inspection apparatus using an electron microscope which senses the defects present on the pattern of a sample based on the sensed signal of secondary charged particles generated by a scanning electron beam, there is provided such a function that the informations obtained by its ADC function are so fed back to its inspection function in the form of an inspection/non-inspection region as to improve its inspection and ADC performances.
電子線を走査して発生する二次荷電粒子の検出信号に基づいて試料のパターン上の欠陥を検出する電子顕微鏡を用いた検査装置において、ＡＤＣ機能で得られた情報を検査／非検査領域という形で検査機能にフィードバックさせ、検査性能、ＡＤＣ性能の向上を図る機能を備える。 - 特許庁 - To provide a thin sample preparing method which prevents an FIB (focused ion beam) processing from forming any hole and allowing any redeposition to originate in holes when forming a protection film in preparing a thin sample, in order to obtain a good image by using an electron microscope.
ＦＩＢ加工で薄片試料を作製する際に保護膜形成時に穴が形成されず穴からリデポすることを防ぎ、電子顕微鏡にて良好な像を取得することのできる薄片試料作製方法を提供することを課題とする。 - 特許庁 - In this abnormality detection method, when an abnormality occurs at a specific position of a device and the abnormal state is a level A, the address of a service center for the device and the address of an operator of an scanning electron microscope are selected by a format conversion unit 5 and a destination selection unit 7.
装置の特定箇所で異常が発生し、その異常状態がレベルＡであった場合、フォーマット変換ユニット５と転送先選択ユニット７により、装置のサービスサイトのアドレスと、走査電子顕微鏡のオペレータのアドレスが選択される。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope provided with a highly reliable holding and dismounting mechanism allowing a sample to be changed on a sample table and a sample transfer device which allow the sample table to be easily be extracted from a sample changing chamber and replaced.
本発明の目的は、試料台に於いて、試料が確実に、かつ、信頼性の高い保持脱着機構と、試料交換室から試料台が容易に取り外し交換できる試料移送装置を備えた走査型顕微鏡を提供することである。 - 特許庁 - To provide an electron microscope holder having high X-ray detection efficiency even in an EDX analysis by an X-ray analyzer of a low angle for extracting a sample for TEM observation in cross section produced by the FIB processing and to provide a spacer for use therefor.
ＦＩＢ加工により作製した断面ＴＥＭ観察用試料の、低取り出し角のＸ線分析器によるＥＤＸ分析においても、高いＸ線検出効率を有する電子顕微鏡ホルダー及びこれに用いるスペーサーを提供する。 - 特許庁 - To obtain a transmission electron microscope which measures and indicates an amount and directions deviations in a visual field of a reference image recorded after an arbitrary set time relative to a recorded image in a real time and a high degree of accuracy and automatically corrects for the deviations in visual field.
記録した登録画像に対し、任意の設定時間後に記録した参照画像の２つの画像間の視野ずれ量および方向をリアルタイムで高精度に計測，表示し、視野ずれを自動的に補正する透過型電子顕微鏡を得る。 - 特許庁 - The colloidal silica is produced from active silicic acid as an original material in the presence of an alcohol, and contains the alcohol and a group of silica particles in various nonspherical shapes wherein a ratio of long length diameter/short length diameter observed by a transmission electron microscope is 1.2-6.
アルコールの存在下で活性珪酸を原料として製造されるコロイダルシリカであって、アルコールを含有し、透過型電子顕微鏡観察による長径／短径比が１．２〜６である非球状の異形シリカ粒子群を含有するコロイダルシリカである。 - 特許庁 - On the silver paste consisting of silver powder as a filler, an organic agent and a solvent, the silver powder with an average particle diameter D_IA of primary particles obtained by image analysis of a scanning electron microscope image of 0.6 μm or less, is adopted.
フィラーとしての銀粉と有機剤と溶剤とからなる銀ペーストにおいて、前記銀粉は、走査型電子顕微鏡像の画像解析により得られる一次粒子の平均粒径Ｄ_ＩＡが０．６μｍ以下である銀ペーストを採用する。 - 特許庁 - To provide a tension and compression holder mechanism of an electron microscope which can accurately detect a tensile force and in which a tensile direction does not vary in an observation of an image.
本発明は電子顕微鏡の引っ張り・圧縮ホルダ機構に関し、像観察中に引っ張り方向が変わらず、引っ張り力を精度よく検出することができる電子顕微鏡の引っ張り・圧縮ホルダ機構を提供することを目的としている。 - 特許庁 - There is provided a moon grid 100 specialized for three-dimensional observation by a transmission electron microscope, and its manufacturing method, wherein the moon grid includes a sheet mesh 110 for protecting an upper structure, and a support film 120 equipped on the sheet mesh 110 and containing nanoparticles 130 dispersed.
上部構造を保護するシートメッシュ１１０と、シートメッシュ１１０上に具備されてナノ粒子１３０が分散している支持膜１２０とを含む、透過電子顕微鏡３次元観察専用ムーングリッド１００とその製造方法を提供する。 - 特許庁 - The perovskite type compound oxide particle consists of a single crystal particle of a perovskite type compound oxide, has 5-50 nm average particle size, which is calculated by using the results measured by using a transmission electron microscope, and contains a noble metal in a crystal lattice of the single crystal particle.
ペロブスカイト型複合酸化物の単結晶粒子からなり、透過型電子顕微鏡の観測結果から求めた平均粒子径が５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であり、その結晶格子中に貴金属元素が含まれている構成とする。 - 特許庁 - The manufacturing method is used for a micro grid 1 that includes a grid mesh 10 that is used for sample support when observed by an electron microscope and a thin film 20 placed on the grid mesh 10 that has pores 21.
本発明の製造方法は、電子顕微鏡による観察の際に試料支持用として用いられる、グリッドメッシュ１０と、グリッドメッシュ１０上に設けられた、孔部２１を有する薄膜２０と、を備えたマイクログリッド１の製造方法である。 - 特許庁 - The system is equipped with a scanning electron microscope 30 for measuring a pattern line width in a vacuum chamber 20 for dry etching so as to carry out intermediate length measurement of a pattern line width while a dry-etched photomask substrate 10 is mounted in the vacuum chamber for dry etching.
ドライエッチング用真空チャンバー２０にパターン線幅を測長する走査型電子顕微鏡３０を備え、ドライエッチングしたフォトマスク基板１０をドライエッチング用真空チャンバー内に載置した状態でパターン線幅を中間測長する。 - 特許庁 - To provide a movable diaphragm position control method and a device of an electron microscope enabled in carrying out intuitive operation in the case of moving a diaphragm.
本発明は電子顕微鏡の可動絞り位置制御方法及び装置に関し、絞りを移動させる場合に直感的な操作を行なうことができるようにした電子顕微鏡の可動絞り位置制御方法及び装置を提供することを目的としている。 - 特許庁 - To provide a sample transfer method for a transmission electron microscope with operability improved by transferring a sample smoothly to a next mesh position when it approaches a grid part.
本発明は透過電子顕微鏡の試料移動方法に関し、グリッド部分にさしかかった時にスムーズに次のメッシュ位置まで移動することで、操作性を向上させることができる透過電子顕微鏡の試料移動方法を提供することを目的としている。 - 特許庁 - To correct measurement magnification and measurement position of a spectral image with high efficiency and with high accuracy using an electronic spectroscope and a transmission electron microscope, regarding the spectral image formed with two axes where an amount of energy loss and a measurement position information are orthogonal to each other.
電子分光器および透過型電子顕微鏡を用いて、エネルギー損失量と測定位置情報が直交する二軸で形成されるスペクトル像について、スペクトル像の測定倍率および測定位置を高効率かつ高精度に行う。 - 特許庁 - To easily adhere a sample on a metal mesh without breaking an organic film adhered on the mesh without breaking the sample for an electron microscope or without flying and losing the sample.
本発明は、電子顕微鏡用試料を破壊したり、飛ばして紛失したりすることがなく、また金属メッシュに張られた有機膜を破ることなく、容易に金属メッシュ上に試料を張り付けることができることを最も主要な特徴とする。 - 特許庁 - The particulate black composite oxide particles comprise 60 to 80 mass% cobalt and 0.1 to 5 mass% manganese and has an average primary particle diameter of 0.05 to 0.3 μm (as measured by observation with a scanning electron microscope (SEM)).
６０質量％〜８０質量％のコバルトおよび０．１質量％〜５質量％のマンガンを含有し、ＳＥＭ観察で測定した一次粒子平均径が０．０５μｍ〜０．３μｍであることを特徴とする粒状黒色複合酸化物粒子。 - 特許庁
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