「nm」を含む例文一覧(14378)
＜前へ 1 2 .... 69 70 71 72 73 74 75 76 77 .... 287 288 次へ＞- In the SiC single crystal base material that the semiconductor film is synthesized in the gaseous phase, and epitaxial growth is performed on the surface of the same, the P-V of irregularities having a wavelength of 200 nm or less present on the surface is set at 2 nm or less.
表面に、半導体膜が気相から合成されてエピタキシャル成長させられていくＳｉＣ単結晶基材において、表面に存在している２００ｎｍ以下の波長を有する凹凸のＰ−Ｖを２ｎｍ以下に設定する。 - 特許庁 - This medicine having a form of eyedrops or eye-washing liquid used for the prevention and/or treatment of the asthenopia is provided by containing a transition metal such as platinum, preferably an aqueous dispersion of precious metal fine particles (e.g. an aqueous platinum colloid having ≤10 nm mean particle diameter).
眼精疲労の予防及び／又は治療のための点眼剤又は眼洗浄液の形態の医薬であって、白金などの遷移金属、好ましくは貴金属微粒子の水性分散液（例えば平均粒径10 nm以下の白金コロイド水）を含む医薬。 - 特許庁 - In a pixel electrode 18 and a transparent electrode 22 on the counter electrode side, the thickness of a light incident path is set thin to 10-50 nm, and the thickness of the parts other than the light incident path part is set to 80-500 nm.
画素電極１８および対向基板側透明電極２２において、光入射経路部の厚さを１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下と薄く設定し、光入射経路部以外の部分の厚さを８０ｎｍ以上５００ｎｍ以下に設定する。 - 特許庁 - The refrigerator includes a generation and supply device 410 of a hypochlorous acid water solution and a light source capable of irradiating the light of 315-380 nm of a wavelength and the light of 780 nm-1 mm of a wavelength to food stored in the storage chamber.
また、次亜塩素酸水溶液の生成供給装置４１０と、貯蔵室に貯蔵される食品に対し、波長が３１５ｎｍ〜３８０ｎｍの光と波長が７８０ｎｍ〜１ｍｍの光を照射することが可能な光源を備える。 - 特許庁 - A PTO nucleation layer having the (111) orientation is formed to a thickness of 5 nm or thicker, preferably 8 nm or thicker by a low oxygen partial pressure of less than 340 Pa by the MOCVD method, and the PZT film is formed on it by the MOCVD method.
（１１１）配向を有するＰＴＯ核生成層を、ＭＯＣＶＤ法により、３４０Ｐａ未満の低酸素分圧下において、５ｎｍ以上、好ましくは８ｎｍ以上の膜厚に形成し、その上にＰＺＴ膜をＭＯＣＶＤ法により形成する。 - 特許庁 - The conductive particles 10 have an average particle diameter in the range of 0.1-100 nm, and are imparted in an island shape over the entire surface of the component body 2 while limiting the average interval of the particles in the range of 10-100 nm.
導電性粒子１０は、その平均粒径が０．１〜１００ｎｍの範囲にあり、各々の間の平均間隔を１０〜１００ｎｍの範囲としながら、部品本体２の表面の全域にわたって島状に分布するように付与される。 - 特許庁 - When the grain size of each conductive particle is 1-10 nm and the interval between the adjacent conductive particles is 1-10 nm, the relationship in which generation probability of Coulomb blockade sharply changes relative to the temperature in a temperature region near the room temperature is obtained.
各導電性粒子の粒径が１〜１０ｎｍであり、隣接する導電性粒子同士の間隔が１〜１０ｎｍであると、クーロンブロッケード現象の発生確率が常温近傍の温度域で温度に対して敏感に変化する関係が得られる。 - 特許庁 - When the yellow image is fixed, the photo printer 1 makes a light-shielding filter 16 for shielding the light with the wavelength of 365 nm positioned between roll paper 11 and the fixing lamp 13, and prevents the roll paper 11 from being exposed to the light with the wavelength of 365 nm.
フォトプリンタ１は、イエロー画像を定着するときには、ロール紙１１と定着ランプ１３との間に３６５ｎｍの波長の光を遮光する遮光フィルタ１６を位置させ、ロール紙１１が３６５ｎｍの波長の光で露光されるのを防止する。 - 特許庁 - A first YAG laser 10 generates a YAG laser beam LBCW (wave length is 1,064 nm) having continuous fundamental waves and a second YAG laser 12 generates a second higher harmonic Q-switched YAG laser beam LBSHG (wave length is 532 nm) of a high speed repetitive pulse oscillation.
第１のＹＡＧレーザ１０は連続波の基本波ＹＡＧレーザ光ＬＢ_cw（波長１０６４ｎｍ）を生成し、第２のＹＡＧレーザ１２は高速繰り返しパルス発振の第２高調波ＱスイッチＹＡＧレーザ光ＬＢ_SHG（波長５３２ｎｍ）を生成する。 - 特許庁 - To provide an optical filter containing a compound suitable for a light absorbent used in an optical element for light having a wavelength of 750-1,100 nm, preferably 800-900 nm, in particular, an optical filter for an image display device.
７５０〜１１００ｎｍ、好ましくは８００〜９００ｎｍの波長の光に対する光学要素、とりわけ画像表示装置用の光学フィルターに用いられる光吸収剤に適した化合物を含有する光学フィルターを提供すること。 - 特許庁 - The heat insulating member includes the cholesteric liquid crystal layer of which cholesteric regularity is adjusted so as to have 200 nm or more of a band for reflecting 40% or more of incident light in a wavelength region of 800-1,900 nm.
８００ｎｍ〜１９００ｎｍの波長領域において、入射光の４０％以上を反射する帯域が２００ｎｍ以上有するようにコレステリック規則性が調整されたコレステリック液晶層を有することを特徴とする断熱部材。 - 特許庁 - The backlight unit has (1) a light source, (2) a first reflective material, and (3) a second reflective material in which a light transmittance at wavelength of 550 nm is 1-60% and a reflection rate at wavelength of 550 nm is 40-99%.
（１）光源と、（２）第１の反射材と、（３）波長５５０ｎｍにおける光線透過率が１〜６０％以下であり、かつ波長５５０ｎｍにおける反射率が４０〜９９％以下である第２の反射材とを備えることを特徴とするバックライトユニット。 - 特許庁 - The flat alumina particle and its manufacturing method are characterized by that a flat α-alumina crystal is a basic composition and an arithmetic average roughness of the surface roughness of a c surface that composes the crystal is Ra=1.0 nm-5.0×10^2 nm.
本発明は、板状アルミナ粒子及びその製造方法に関するものであって、板状α−アルミナの結晶を基本構成とし、結晶を構成するｃ面の表面粗さが算術平均粗さ：Ra＝1.0nm〜5.0×10^2nmであることを特徴とする。 - 特許庁 - A resonator end face 21 is coated by a distributed Bragg reflector for which the center wavelength λ_C of a reflectance spectrum satisfies the relation λ_SP-10 nm≤λ_C≤λ_SP+10 nm with respect to the emission peak wavelength λ_SP of spontaneous emission in the active layer 10.
共振器端面２１は、反射率スペクトルの中心波長λ_Cが活性層１０の自然放出光の発光ピーク波長λ_SPに対して、λ_SP−１０ｎｍ≦λ_C≦λ_SP＋１０ｎｍの関係を満たす分布ブラッグ反射鏡でコーティングされている。 - 特許庁 - The organic layer is provided with a luminous layer 14 formed by depositing an organic phosphor material with a host material and a guest material in mixing ratio of 500 to 1 in weight on the substrate at a speed of several nm/sec by resistive heating.
前記有機層はホスト材料とゲスト材料とを混合比率が重量比５００：１以上の関係にある有機蛍光体材料を抵抗加熱法により数nm／秒の速度で基板１０に蒸着させて形成する発光層１４を有する。 - 特許庁 - Conversely, if the deviation between the number Nm and the number NmT is smaller than the threshold ΔN (YES, in S30), and the number Nm is within an upper and a lower limit values (YES, in S50), the control unit stops executing the synchronous control (S60).
一方、回転数Ｎｍと目標回転数ＮｍＴとの偏差がしきい値ΔＮよりも小さく（Ｓ３０にてＹＥＳ）、回転数Ｎｍが上下限値内のとき（Ｓ５０にてＹＥＳ）、ハイブリッド制御部は、回転同期制御の実行を停止する（Ｓ６０）。 - 特許庁 - Thus, the optical switching device whose contrast ratio is 10:1 in the visible light area of wavelength 420 nm to 620 nm is provided, and the control of the distance between the reflector 42 and the half mirror 22 is facilitated, so that the restriction related to manufacturing process is mitigated.
これにより、波長４２０ｎｍから６２０ｎｍの可視光領域でコントラスト比が１０：１の光スイッチングデバイスを提供することができ、反射体４２とハーフミラー２２の距離の管理が容易になるので、製造上の制約を緩和できる。 - 特許庁 - To provide an organic anti-reflective polymer which can prevent the reflection of a lower coating film layer in a process for forming a hyperfine pattern with 193 nm ArF light and 248 nm KrF light and can further remove standing-waves, and to provide a method for synthesizing the polymer.
１９３ｎｍＡｒＦ及び２４８ｎｍＫｒＦ光を用いる超微細パターン形成工程において、下部膜層の反射を防止でき、定在波を除去し得る有機乱反射防止重合体及びその合成方法を提供する。 - 特許庁 - A phosphor is constituted by incorporating Pr into a composite oxide SrIn2O4 of Sr and In and accordingly, upon excitation of SrIn2O4 by an electron beam, by the excitation energy Pr is allowed to emit an emission color corresponding to the energy level, for example, a red color with a wavelength of about 610 nm.
蛍光体は、SrとInとの複合酸化物SrIn_2O_4 にPrが含まれて構成されることから、電子線によってそのSrIn_2O_4 が励起されるとその励起エネルギでPrがそのエネルギ準位に応じた発光色、例えば波長610(nm) 程度の赤色に発光させられる。 - 特許庁 - The film thickness of a protective layer 3 formed at the upper portion of a ferromagnetic layer 2 at a servo section is larger than that of the protective layer 3, formed at the upper portion of the ferroelectric layer 2 at a recording track section within a range of not smaller than 1 nm and not larger than 10 nm.
サーボ部の強磁性層２の上部に形成される保護層３の膜厚が記録トラック部の強磁性層２の上部に形成される保護層３の膜厚よりも１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の範囲で厚くなっている。 - 特許庁 - An exciting light source 1 oscillates fluorescent light of which the waveform of a peak value is shorter than the center wavelength of fluorescence of a light-sensitive substance and in which the difference between the waveform of the peak value and the center wavelength of fluorescence of the light-sensitive substance exceeds 12 nm but does not exceed 16 nm.
励起光源１はピーク値の波長が光感受性物質の蛍光の中心波長よりも短く、かつ光感受性物質の蛍光の中心波長との差が１２ｎｍを上回り１６ｎｍ以下である励起光を発振する。 - 特許庁 - To provide a positive type resist composition suitable for use under a light source for exposure which emits light of ≤160 nm, particularly F_2 excimer laser light (157 nm) and more specifically to provide a positive type resist composition having improved surface roughness and scum.
１６０ｎｍ以下、特にＦ_2エキシマレーザー光（１５７ｎｍ）の露光光源の使用に好適なポジ型レジスト組成物を提供することであり、より具体的には、表面ラフネス及びスカムが改善されたポジ型レジスト組成物を提供すること。 - 特許庁 - In Ir(ppy)_2(dbq) is observed phosphorescence at a major wave of 530 nm rather than 510 nm of Ir(ppy)_3 and a photoexcitation spectrum monitoring the phosphorescence appears with a structure at approximately the site of mirror image of the phosphorescence.
Ｉｒ（ｐｐｙ）_２（ｄｂｑ）については、Ｉｒ（ｐｐｙ）_３の５１０ｎｍよりも長波長側の５３０ｎｍにりん光が観測され、このりん光をモニターしたりん光励起スペクトルはりん光とほぼミラーイメージの位置に構造をもって現れる。 - 特許庁 - To provide a surface treatment method of a sapphire substrate capable of removing easily and inexpensively scratches of some to tens of nanometers (nm) existing in the sapphire substrate surface after mirror finished surface, where a foreign substance is not adhered.
簡易にかつ安価に鏡面研磨後のサファイア基板表面に存在する数〜数十nmの引っ掻き傷を除去でき、かつ処理後のサファイア基板表面に異物が付着することのないサファイア基板の表面処理方法の提供を課題とする。 - 特許庁 - The color filter 31 is irradiated with white surface light source 30 light, and reflected light or transmitted light is inspected through an interference filter 33 for transmitting a peak wavelength of approximately 450 nm±40 nm of a blue-colored pixel constituting the color filter.
カラーフィルタ３１に白色面光源３０光を照射し、その反射光又は透過光を、カラーフィルタを構成する青色着色画素のピーク波長略４５０ｎｍ±４０ｎｍを透過させる干渉フィルタ３３を介し検査すること。 - 特許庁 - The indication having the confidential information is added to a material to be printed by using a transparent ink composition containing a rare earth fluorescent substance containing a rare earth element such as Eu having 310-330 nm exciting wave length and 600-650 nm fluorescent wave length as an activator.
励起波長が３１０〜３３０ｎｍで、蛍光波長が６００〜６５０ｎｍであるＥｕなどの希土類元素を付活剤として含む希土類蛍光体を含む透明なインキ組成物を用いて、被印刷物に秘密情報を持つ表示を付す。 - 特許庁 - The thin-filmy particles having an independent form with 0.4 to 10 nm thickness and ≥20 nm stretch in the plane direction and dispersible in a liquid having ≥15 relative dielectric constant are obtained by accelerating separation of layers in the oxidation treatment of graphite.
黒鉛の酸化処理において、層の分離を促進することで、厚さが０．４〜１０ｎｍ、平面方向の広がりが２０ｎｍ以上であり、比誘電率が１５以上の液体に分散可能な、独立形状を持つ薄膜状粒子を得る。 - 特許庁 - The emulsion composition has an average particle diameter of ≥1 nm and <200 nm and comprises an oily component containing at least one kind of carotenoid pigment and at least one kind of a radical scavenger.
平均粒子径が１ｎｍ以上２００ｎｍ未満の範囲のエマルジョン組成物であって、少なくとも１種のカロチノイド色素を含有する油状成分を含み、かつ、少なくとも１種のラジカル捕捉剤を含有することを特徴とするエマルジョン組成物。 - 特許庁 - The carbon nanotube has ≤500 nm outer diameter and ≥50 nm length and has the wall portion composed of carbon and is characterized in that the outer region of the wall portion has an amorphous structure and the inner region of the wall portion has a crystalline structure.
外径が５００ｎｍ以下、長さが５０ｎｍ以上であり、炭素から成る壁部を有するカーボンナノチューブであって、壁部の外側領域がアモルファス構造であり、壁部の内側領域が結晶構造であることを特徴とするカーボンナノチューブ。 - 特許庁 - The transparent ink tank having the roughness of an inner wall surface Ra=520 nm and the maximum height difference P-V=5050 nm is obtained by extrusion molding under a condition that block type propylene resin is heated to 230°C and, thereafter, the extrusion molding is effected under a condition that a melt index is 1 and water cooling temperature is 25°C.
ブロック状のポリプロピレン樹脂を２３０℃に加熱した後、メルトインデックス１、水冷温度２５℃の条件で押し出し成型により、内壁面粗さＲａ＝５２０ｎｍ、最大高低差Ｐ−Ｖ＝５０５０ｎｍの透明性のインキタンクを得る。 - 特許庁 - A ceramic plate is irradiated via an optical fiber 7 with dispersed near-infrared light in the band of 700 nm-1100 nm from the slit of a near-infrared device 1 to measure the intensity of light transmitted through the ceramic plate, which is reference matter for spectrum measurement.
先ず、近赤外装置１のスリットからの７００ｎｍ〜１１００ｎｍ域の分光した近赤外光を光ファイバー７を介してセラミック板に照射し、スペクトル測定の基準物質であるセラミック板の透過光強度を測定する。 - 特許庁 - In the pot lid having the fine particles of tungsten oxide or tungsten oxide composite provided on the inner surface, a mean particle diameter of the fine particles is within the range of 1 nm to 200 nm, and an aspect ratio of the fine particles is within the range of 1-3.5.
酸化タングステンまたは酸化タングステンの複合材の微粒子を内側表面に具備する鍋蓋において、前記微粒子の平均粒径が１ｎｍから２００ｎｍの範囲であり、かつ微粒子のアスペクト比を１〜３．５の範囲とする。 - 特許庁 - A spacer layer 3 has a thickness (0.3 nm to 3 nm, for example) which forms an anti-parallel magnetic bond between a lower layer composed of an amorphous ferromagnetic layer 2 and an upper layer composed of the amorphous ferromagnetic layer 4 and the polycrystalline ferromagnetic layer 5.
スペーサ層３の厚さは、アモルファス強磁性層２からなる下層と、アモルファス強磁性層４及び多結晶強磁性層５からなる上層との間で反平行の磁気結合が形成される厚さ（例えば０．３ｎｍ〜３ｎｍ）となっている。 - 特許庁 - The design support device determines whether the result of the exposure simulation is within an allowable range (for example, a range of x[nm] to y[nm]) of a result of exposure simulation with an evaluation pattern being decision criteria for the plurality of exposure parameters or not.
設計支援装置が、露光シミュレーションによる露光シミュレーション結果が、複数の露光パラメータの決定基準である評価用パターンの露光シミュレーションでの許容範囲内（たとえば、ｘ［ｎｍ］〜ｙ［ｎｍ］以内）であるか否かを判断する。 - 特許庁 - This antibacterial composition is characterized by blending 0.0004-0.0040 wt.% fine particle-formed metallic silver having 10-100 nm particle diameter and also 20-30 nm range mean particle diameter.
本発明の抗菌性組成物は、粒子径が１０ｎｍ〜１００ｎｍで、且つその平均粒子径が２０ｎｍ〜３０ｎｍの範囲にある微粒子状の金属銀を０．０００４重量％〜０．００４０重量％配合してなることを特徴とする。 - 特許庁 - The magnetic recording tape is characterized in that difference of coercive force of both magnetic layers is ≤4 kA/m and center line average roughness is 2 to 6 nm in a measuring visual field of 5 μm × 5 μm and it is 8 to 14 nm in a measuring visual field of 1,250 μm × 1,250 μm.
両磁性層の保磁力の差が４ｋＡ／ｍ以下、中心線平均粗さが測定視野５μｍ×５μｍで２〜６ｎｍ、１２５０μｍ×１２５０μｍで８〜１４ｎｍであることを特徴とする磁気記録媒体を得る。 - 特許庁 - A dielectric barrier excimer discharge lamp provided with an electrode for conducting dielectric barrier discharge and a discharge container filled with krypton gas and chlorine gas, and having a luminescent line between 200 nm-230 nm is allowed to be used as the lamp 11a.
また、上記ランプ１１ａとして、誘電体バリア放電を行うための電極と、クリプトンガスと塩素ガスを充填した放電容器を備えた、２００ｎｍ〜２３０ｎｍの間に輝線を有する誘電体バリアエキシマ放電ランプを用いてもよい。 - 特許庁 - The silver ink contains silver particles dispersed in a liquid medium of non-polar hydrocarbons such as decane, the silver particles having dodecyl gallate adsorbed to the surfaces and having a crystal grain diameter Dx by X-ray analysis of 1 to 40 nm, preferably 1 to 15 nm.
没食子酸ドデシルを表面に吸着させてなるＸ線結晶粒子径Ｄｘ：１〜４０ｎｍ好ましくは１〜１５ｎｍの銀粒子が、デカンのような非極性炭化水素の液状媒体中に分散している銀インクが提供される。 - 特許庁 - An LED lighting device 1 is equipped with a first light emitting diode 2 which emits light having a main wavelength of 500 to 600 nm and a second light emitting diode 3 which emits light having a main wavelength of 600 to 780 nm.
ＬＥＤ照明装置１は、４００〜５００ｎｍおよび５００〜６００ｎｍに主波長を有する光を発光する第１の発光ダイオード２と、６００〜７８０ｎｍに主波長を有する光を発光する第２の発光ダイオード２を備えている。 - 特許庁 - The fluorescent nanodiamond is formed by ion implantation of a predetermined element in a nanodiamond, and emits fluorescence with a wavelength in the wavelength range of 700-1,400 nm when it is excited by excitation light with a wavelength in the wavelength range of 700-900 nm.
ナノダイヤモンドに所定の元素がイオン注入されて形成され、波長範囲７００〜９００ｎｍ内の波長の励起光により励起されたときに、波長範囲７００〜１４００ｎｍ内の波長の蛍光を発することを特徴とする。 - 特許庁 - The heat sensitive lithographic printing plate precursor comprises a polymer which is soluble in an alkaline aqueous solution and which comprises at least one chromophoric moiety having a light absorption maximum in the wavelength range from 400 nm to 780 nm.
アルカリ性水溶液中に可溶性であり且つ４００〜７８０ｎｍの間の波長範囲内の光吸収極大を有する少なくとも１つの発色部分を含んでなる重合体を含んでなる感熱性平版印刷版前駆体を開示する。 - 特許庁 - A porous material is made of a compound having a base skeleton combining titanium atom with phosphorus atom through oxygen atom, and the porous material has pores whose center pore diameter is 0.2 nm or more and less than 1.5 nm.
チタン原子とリン原子とが酸素原子を介して結合した基本骨格を有する化合物からなる多孔性物質であって、中心細孔直径が０．２ｎｍ以上１．５ｎｍ未満である細孔を有することを特徴とする多孔性物質。 - 特許庁 - Specially, this projection objective lens for microlithography whose wavelength is 248 nm or 193 nm includes preferably one narrowed part and an essential aperture stop(AS) between two swollen parts and two narrowed parts.
特に２４８nm、又は１９３nmの波長のマイクロリソグラフィ用の投影対物レンズは、２つのふくらみ部分と、２つのくびれ部分との間に、好ましくはもう１つのくびれ部分と、不可欠の開口絞り（ＡＳ）とを含む特徴のあるレンズ構造を有する。 - 特許庁 - The fluorescent silica glass emits fluorescence having a peak within a wavelength range of 500-570 nm when exposed to ultraviolet rays within a wavelength range of 150-300 nm, wherein the copper concentration is adjusted to 1-400 ppm.
波長１５０ｎｍ以上３００ｎｍ以下の紫外光の照射により波長５００ｎｍ以上５７０ｎｍ以下の領域にピークを持つ蛍光を発する蛍光シリカガラスであって、銅濃度が１ｐｐｍ以上４００ｐｐｍ以下であるようにした。 - 特許庁 - The method for culturing a diatom comprises a process for irradiating a diatom with at least one visible light having a band width of ≤100 nm, preferably the visible light has a central wavelength in a wavelength region of 410-780 nm.
本発明の珪藻の培養方法は、珪藻に、１００ｎｍ以下の帯域幅を有する少なくとも１つの可視光を照射する工程を含み、好ましくは、該可視光は４１０〜７８０ｎｍの波長領域内に中心波長を有する。 - 特許庁 - The dichroic phosphor can be excited by light at ≤400 nm wavelength to emit light at wavelength longer than that of the excitation light and has light-transmitting property for light in the visible region at longer wavelength than 400 nm.
２色性蛍光体は、４００ｎｍ以下の波長の光により励起され、励起光よりも長波長の光を発光することが可能なものであって、かつ、４００ｎｍより長波長の可視領域の光に対しては透光性を有するものである。 - 特許庁 - Further, light of wavelength 650 nm and light of wavelength 780 nm are reflected by the collaboration of two reflective multilayer films between the first reflective multilayer film 10 and the second reflective multilayer film 20 and, therefore, the total number of film layers can be reduced.
そして、波長６５０ｎｍ及び波長７８０ｎｍの光は、第１の反射多層膜１０と第２の反射多層膜２０との２つの反射多層膜の協働作用により反射されるため、全体の膜層数を少なくすることができる。 - 特許庁 - To provide a photosensitive composition which is suitable for a lithographic printing original plate having high sensitivity to the oscillation wavelength of an inexpensive short wavelength semiconductor laser and which uses a new photoinitiation system having high sensitivity in a wide wavelength region from 350 nm to 450 nm.
安価な短波半導体レーザの発振波長に対し高感度な平版印刷版用原版等に適した、広く３５０ｎｍから４５０ｎｍの波長に対し高感度な新規な光開始系を用いた感光性組成物を提供する。 - 特許庁 - To provide a multilayer antireflection film which is capable of obtaining a reflectivity of ≤1% at a wavelength of 400 to 800 nm by a multilayer having the same optical film thickness and layer constitution for substrates different by refractive indexes, and an optical component having the same.
屈折率の異なる基板に対しても同一の光学膜厚及び層構成を有する多層膜により、波長400〜800 nmで１％以下の反射率が得られる多層反射防止膜及びこれを有する光学部品を提供すること。 - 特許庁 - To provide a useful fluorine-containing polymer which has high transparency and durability to a short wavelength light (ArF excimer laser with an oscillation wavelength of 193 nm, or F_2 excimer laser with an oscillation wavelength of 157 nm) at the time of using as a pellicle material or the like.
ペリクル材料等として用いた場合に短波長光（発振波長１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザー、発振波長１５７ｎｍのＦ_２エキシマレーザー）に対して高い透明性と耐久性を有する有用な含フッ素重合体を提供する。 - 特許庁
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