光学的同時計測の英語

前記制御部は、前記第１原版側マークおよび前記第１基板側マークを用いて前記原版ステージと前記基板ステージとの相対的な位置関係を計測すると同時に前記第２原版側マークおよび前記第２基板側マークを用いて前記原版ステージと前記基板ステージとの相対的な位置関係を計測することができるように、前記投影光学系の像特性を制御する。例文帳に追加

The controller controls the image characteristics of the projection optical system to measure the relative positional relation between the precursor stage and the substrate stage using the first precursor-side mark and the first substrate-side mark and to measure the relative positional relation between the precursor stage and the substrate stage using the second precursor-side mark and the second substrate-side mark. - 特許庁

生体試料１２内のある断層からの時間変化する干渉画像に対して、時間的に位相が９０°異なる二つの干渉画像を光学的に発生させ、前記二つの干渉画像を高速スイッチングにより切り出し、この切り出した二つの干渉画像を一つのイメージセンサ１８上に同時に入射することにより、高速断層画像計測を行う。例文帳に追加

Two interferograms whose time phases are different by 90° are optically generated relative to an interferogram changing in time, from a certain cross section of an organism sample 12, the two interferograms are clipped from a high speed switching, and the clipped two interferograms are simultaneously incident on a single image sensor 18 to perform a high-speed tomogram measurement. - 特許庁