源ちゃんの英語

基板処理用の装置は、チャンバ、高周波電源及び低周波電源を有する。例文帳に追加

An apparatus for processing a substrate has a chamber, a high frequency power source, and a low frequency power source. - 特許庁

ＥＵＶ光源の複数の特性を同一チャンバーにて評価する光源特性評価装置例文帳に追加

LIGHT SOURCE CHARACTERISTIC EVALUATION DEVICE IN WHICH A PLURALITY OF EUV LIGHT SOURCES ARE EVALUATED WITH THE SAME CHAMBER - 特許庁

プロセスチャンバへのシリコン源の流量に対するプロセスチャンバへのハロゲン源の流量は、実質的に０.５〜３.０である。例文帳に追加

The flow rate of the halogen source to the process chamber with reference to the flow rate of the silicon source to the process chamber is substantially in the range between 0.5 and 3.0. - 特許庁

2つの音源から2つのチャンネルを通る音響伝送を指定する例文帳に追加

designating sound transmission from two sources through two channels発音を聞く  - 日本語WordNet

真空チャンバを小型化する上で有利なアーク蒸発源を提供する。例文帳に追加

To provide an arc evaporation source which is advantageous for miniaturizing a vacuum chamber. - 特許庁

多孔質膜形成装置は、チャンバ２と電子ビーム源３とを備えている。例文帳に追加

The porous forming apparatus comprises a chamber 2 and an electron beam source 3. - 特許庁

基板処理チャンバ（１０）内にはトロイダルプラズマ源（２８）がある。例文帳に追加

A toroidal plasma source (28) is located within a substrate processing chamber (10). - 特許庁

遠隔の励起源を用いる堆積チャンバーのクリーニング技術例文帳に追加

CLEANING TECHNOLOGY OF DEPOSITION CHAMBER USING REMOTE EXCITATION SOURCE - 特許庁