紫外発散の英語

エタロンに入射させる光の量とその光の発散角とを共に抑えることができる真空紫外レーザ装置を提供する。例文帳に追加

To provide a vacuum ultraviolet laser system for restraining both quantity of light to be applied to etalon and its light radiation angle. - 特許庁

光源６３からは導体部４１に対して８〜１０ｍＷ／ｃｍ^2の放射発散度で真空紫外線を照射するのが好ましい。例文帳に追加

It is preferable that the conductor parts 41 are irradiated with the vacuum ultraviolet rays from the light sources 63 at a radiant exitance of 8 to 10 mW/cm^2. - 特許庁

露光機２２０の光源２２１から発散される紫外線光は、第１の反射ミラー２２３、スリット２２４、第２の反射ミラー２２５を介して、垂直下方に出射され、マスク２１０に形成されたパターンが、移動するガラス２０１の全面積に所望のパターンを転写される。例文帳に追加

UV rays emitting from a light source 221 of the exposure machine 220 exit vertically downward via a first reflection mirror 223, a slit 224 and a second reflection mirror 225 to transfer a desired pattern of the pattern formed in the mask 210 onto the entire area of the traveling glass 201. - 特許庁

プラズマの放射発散を安定化させるための装置、特に極紫外線を発生させるための装置において、ターゲットビームへのエネルギー投入により発生するプラズマから短波長線、特にＥＵＶ線を安定に発生させるための新たな可能性を提供し、ターゲットビームへの励起線のカップリングの変化による強度変動を最小限にとどめる。例文帳に追加

To provide a device for stabilizing radiant divergence of a plasma, especially a device for generating extreme ultraviolet rays, having a new possibility of stably generating a short wavelength ray, especially, EUV ray from a plasma generated by energy input to a target beam and to minimize fluctuations of strength caused by the variation of coupling of excitation ray to the target beam. - 特許庁