chip-shotsとは 意味・読み方・使い方

To provide a pattern transfer method capable of suppressing the leakage of a surplus imprint material to an adjacent chip and decreasing the dimension between adjacent shots.例文帳に追加

近隣チップへの余剰インプリント材料の漏出を抑制し、かつ隣接ショット間の寸法を小さくすることが可能なパターン転写方法を提供する。 - 特許庁

When alignment measurement of composite shots S1 to S9 arrayed on a semiconductor wafer W is performed, the alignment measurement is carried out in units of composite shots first and if recognition of an alignment mark in one composite shot S ends in failure, the alignment measurement is performed again in every composite chip 10 constituting the one composite shot S with respect to the one composite shot S.例文帳に追加

半導体ウエハＷ上に配列された複合ショットＳ１〜Ｓ９のアライメント計測を実施する際、先ず複合ショット単位でアライメント計測を実施し、一の複合ショットＳにおいてアライメントマークの認識に失敗した場合には、当該一の複合ショットＳについて、それを構成する複合チップ１０毎に再度アライメント計測を実行する。 - 特許庁

In the multi-project-chip semiconductor device, semiconductor elements fabricated on a wafer have a layout that corresponds to an exposure order of a pattern of the semiconductor elements and that is based on information indicating manufacture conditions and the number of shots and are arranged such that the semiconductor elements having the same manufacture condition are adjacent to each other in ascending or descending order of the number of shots.例文帳に追加

マルチプロジェクトチップ方式の半導体装置において、ウェーハ上に形成された複数の半導体デバイスは、前記複数の半導体デバイスのパターンの露光順序に合わせて、製造条件とショット数を示す情報とに応じた配置を有し、同じ製造条件の半導体デバイスは近接して、ショット数が多い順又は少ない順に配置されているように構成する。 - 特許庁

In the automatic production process of the shot layout, a plurality of shot layouts which can be a candidate for an optimal shot layout are made from the effective exposure region on a wafer, the shot size, and the chip size, and in the throughput computation process, the throughput is computed from the number of shots of the made shot layout, the shot size, and the exposure quantity.例文帳に追加

ショットレイアウト自動作成工程では、ウエハ上の有効露光領域、ショットサイズ及びチップサイズから、最適ショットレイアウトの候補となる複数のショットレイアウトを作成し、スループット算出工程では、作成されたショットレイアウトのショット数、ショットサイズ及び露光量から、スループットを算出する。 - 特許庁