oxygen difluorideとは 意味・読み方・使い方

F_2 is selectively removed from the NF_3 stream without generating oxygen difluoride, HF is removed, and thereafter the nitrogen oxide is removed by adsorption.例文帳に追加

二フッ化酸素を発生することなく該ＮＦ_3流からＦ_2を選択的に除去し、ＨＦを除去し、そしてその後該窒素酸化物を吸着により除去する。 - 特許庁

The objective polymer removing solution composition contains (1) at least one fluoride salt or difluoride salt comprising hydrofluoric acid and one selected form the group comprising ammonia, hydroxylamines, aliphatic amines, aromatic amines and aliphatic or aromatic quaternary ammonium salts, (2) at least one oxygen-containing organic solvent selected from alcohols and ketones and (3) water.例文帳に追加

(1)フッ化水素酸とアンモニア、ヒドロキシルアミン類、脂肪族アミン類、芳香族アミン類、脂肪族ないし芳香族第４級アンモニウム塩からなる群から選ばれるフッ化物塩及び重フッ化物塩の少なくとも１種；(2)アルコール類及びケトン類からなる少なくとも１種の含酸素有機溶媒；及び(3)水を含むことを特徴とするポリマー剥離液組成物。 - 特許庁

CMP slurry cleaning agent composition includes (1) at least fluoride salt or difluoride salt selected from a group constituted of hydrofluoric acid and ammonia, a hydroxylamine class, a fatty amine class, an aromatic amine class, and fatty or aromatic group quaternary ammonium salt; (2) at least one type of organic solvent containing oxygen, which consists of an alcohol class and a ketone class; and (3) water.例文帳に追加

(1)フッ化水素酸とアンモニア、ヒドロキシルアミン類、脂肪族アミン類、芳香族アミン類、脂肪族ないし芳香族第４級アンモニウム塩からなる群から選ばれるフッ化物塩及び重フッ化物塩の少なくとも１種；(2)アルコール類及びケトン類からなる少なくとも１種の含酸素有機溶媒；及び(3)水を含むことを特徴とするＣＭＰスラリー洗浄液組成物。 - 特許庁