A vertical diffusion furnace has: a cylindrical heater 11 inside a casing, and an inner tube having a boat mounted with treated substrates (works) inside the cylindrical heater 11.例文帳に追加

縦型拡散炉は、筐体の内部には筒状ヒータ１１を、筒状ヒータ１１の内部には被処理基板（ワーク）を搭載されたボートが配置される内管を有している。 - 特許庁

The substrate processing apparatus is provided with a nearly cylindrical reaction tube 203 wherein a processing chamber 201 is provided inside to process a substrate while holding a plurality of substrates by a substrate holding jig so that they may be vertical to the processing face of the substrate, and a nearly cylindrical heater that is provided surrounding the outer periphery of the reaction tube 203.例文帳に追加

基板処理装置は、基板の処理面に対して垂直方向に複数枚配置するよう基板保持具で基板を支持しつつ処理可能な処理室２０１を内部に有する略筒状の反応管２０３と、該反応管２０３の外周を囲うように設けられる略筒状の加熱装置とを備える。 - 特許庁

In the outside of a vertical type closable process tube 4, a cylindrical first heater (heating means) 1, a second heater (heating means) 2 and a cylindrical water jacket (cooling means) 3 are disposed, and the inner space of this process tube 4 is divided into a main heating zone A, a pre-heating zone B and a cooling zone C, respectively.例文帳に追加

縦型の密閉可能なプロセスチューブ４の外側に、筒状の第１のヒータ（加熱手段）１、第２のヒータ（加熱手段）２、及び筒状のウォータジャケット（冷却手段）３を配置して、当該プロセスチューブ４の内部空間を本加熱ゾーンＡ、予備加熱ゾーンＢ、及び冷却ゾーンＣにそれぞれ分ける。 - 特許庁

This process comprises: using a cylindrical, vertical heater into which a gas for fluidizing powdery waste is blown through a point in the lower part; charging the powdery waste into the heater through a point in the upper part; and intermittently withdrawing the resulting treated powdery waste from the heater through a point in the lower part.例文帳に追加

上記課題は、下部から粉状廃棄物を流動させるガスを吹き込む円筒縦型加熱器を用い、該加熱器の上部から該粉状廃棄物を投入し、下部からこれを抜き出す方法において、この下部からの粉状廃棄物の抜き出しを間欠的に行うことを特徴とする粉状廃棄物の加熱処理方法によって解決される。 - 特許庁

A vertical thermal treatment equipment 1, in which a heater 10 having a cylindrical heat insulator 11 is placed around an upright treatment container 2 for storing a plurality of bodies w to be treated and a platelike heat insulator 13 is placed on the barrel heat insulator 11 of the heater 10, comprises a plurality of cores 21 embedded into the platelike heat insulator 13.例文帳に追加

複数枚の被処理体ｗを収容する縦型の処理容器２の周囲に、筒状断熱材１１を有するヒータ１０を設置し、該ヒータ１０の筒状断熱材１１の上部に板状断熱材１３を被せてなる縦型熱処理装置１において、前記板状断熱材１３に複数本の芯棒２１を埋め込んでなる。 - 特許庁

In this electric pressure sintering apparatus comprising a pair of sintering shafts for pressure-sintering the sintering die 80 with the powder m to be sintered filled therein in the vertical direction, i.e., vertically pressure electrode shafts 26 and 27, and a vacuum chamber 2 for sealing the sintering die 80, a cylindrical heater 170 surrounding the side periphery of the sintering die 80 is provided inside the vacuum chamber 2.例文帳に追加

被焼結粉末ｍが入れられた焼結型８０を上下方向に加圧焼結するための一対の焼結軸、すなわち上下加圧電極軸２６、２７と、焼結型８０を密閉するための真空チャンバ２とを備えた通電加圧焼結装置において、真空チャンバ２の内部において、焼結型８０の側方周囲を囲んで、円筒状の加熱ヒータ170 が設けられている。 - 特許庁