はながきちょう２ちょうめの英語

本発明では、アルミナが９９．４ｗｔ％以上、酸化チタンが０．２wt%より大きく０．６wｔ％以下、焼成体平均粒子径が２μｍ以下かつ体積抵抗率が室温において１０^８〜１０^1１Ωｃｍであることを特徴とする静電チャック用誘電体を備え、１００℃以下の低温で使用されることを特徴とする。例文帳に追加

The electrostatic chuck comprises a dielectric containing 99.4 wt% or more of alumina, and 0.2-0.6 wt% of titanium oxide, having average particle size of sintered body not larger than 2 μm, and volume resistivity of 10^8-10^11 Ωcm at room temperature, and it is uses at low temperatures not higher than 100°C. - 特許庁