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アルゴン誘起のの英語
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英訳・英語 argon-induced
「アルゴン誘起の」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
該エッチングは、好ましくは、該チャンバの周りのRFコイルによって誘導励起されたアルゴンイオンによって、又は、高いターゲット電力及び極めて強いマグネトロンで形成することができる銅イオンによって、あるいは、RFコイルの使用によって行うことができる。例文帳に追加
The etching may be done by preferably argon ions inductively excited by an RF coil around the chamber, or by copper ions, which may be formed with high target power and an intense magnetron, or by use of the RF coil. - 特許庁
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