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| 意味 | 例文 (1件) |
アルゴン誘起のの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
該エッチングは、好ましくは、該チャンバの周りのＲＦコイルによって誘導励起されたアルゴンイオンによって、又は、高いターゲット電力及び極めて強いマグネトロンで形成することができる銅イオンによって、あるいは、ＲＦコイルの使用によって行うことができる。例文帳に追加
The etching may be done by preferably argon ions inductively excited by an RF coil around the chamber, or by copper ions, which may be formed with high target power and an intense magnetron, or by use of the RF coil. - 特許庁
| 意味 | 例文 (1件) |
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