エアロゾル生成の英語

多層基板は真空容器１１内に配置され、真空容器にはエアロゾル生成室と、エアロゾル生成室２０が接続されている。例文帳に追加

The substrate 14 is arranged in a vacuum vessel 11, and an aerosol generating chamber 20 is connected to the vacuum vessel 11. - 特許庁

エアロゾル生成室にガス導入部８０がガスを供給制御する。例文帳に追加

A gas introducing section 80 supplies gas to the aerosol generating chamber 20 and controls the supplied gas. - 特許庁

また、成膜装置は、そのようなエアロゾル生成装置と、基板を固定する基板ステージ７と、該エアロゾル生成装置によって生成されたエアロゾルを基板に向けて噴射するノズル６とを含む。例文帳に追加

Also, the deposition apparatus includes such aerosol generation apparatus, a substrate stage 7 which fixes a substrate, and a nozzle 6 which emits a jet of the aerosol generated by the aerosol generation apparatus toward the substrate. - 特許庁

濃度が制御されたエアロゾルを安定的に生成することができるエアロゾル生成装置、及び、そのようなエアロゾル生成装置を用いた成膜装置を提供する。例文帳に追加

To provide an aerosol generation apparatus for stably generating the aerosol with controlled concentration and a deposition apparatus using such aerosol generation apparatus. - 特許庁

粉体収容室に収容された材料粒子の凝集を適切に低減して、エアロゾルを長期間に亘り安定的に生成できるエアロゾル生成装置およびエアロゾル生成方法を提供する。例文帳に追加

To provide an aerosol-generating apparatus capable of stably generating aerosol over a long period of time by appropriately reducing the aggregation of material particles accommodated in a powder-accommodating chamber, and to provide an aerosol-generating method. - 特許庁

比較的小さい冷凍能力で、エアロゾルノズル内の圧力を高圧にして、微細なエアロゾルを生成する。例文帳に追加

To generate fine aerosol by increasing pressure within an aerosol nozzle with relatively small refrigerating capacity. - 特許庁

冷凍装置（３６）を運転したままエアロゾル生成ガスの供給を中断するエアロゾルスタンバイ状態１４０を設ける。例文帳に追加

An aerosol standby state 140 is provided to drive a refrigerator (36) and to simultaneously interrupt the supply of aerosol generation gas. - 特許庁

エアロゾルデポジション法を用いた成膜装置において、エアロゾルを生成する際に形成されてしまうミクロン〜ミリオーダーの巨大な凝集粒子が容器の一部に留まるのを防ぎ、安定的にエアロゾルを生成する。例文帳に追加

To stably produce an aerosol by preventing huge agglomerate particles of μm-mm orders formed in producing the aerosol from staying on a part of a container in a film-forming apparatus using an aerosol deposition method. - 特許庁