ガスターゲットの英語

ガスターゲット生成装置および生成方法例文帳に追加

GAS TARGET FORMATION DEVICE AND FORMATION METHOD - 特許庁

ガス流量調整機構付きオープン形ガスターゲット例文帳に追加

OPEN TYPE GAS TARGET EQUIPPED WITH GAS FLOW REGULATING MECHANISM - 特許庁

極低温クラスタ／スラッシュガスターゲットの製造方法とその装置例文帳に追加

METHOD AND APPARATUS FOR MAKING CRYOGENIC CLUSTER/SLUSH GAS TARGET - 特許庁

ビームチャンバー内に流入するガス量とガスターゲット内に供給されるガス量とを個別に調整できるガス流量調整機構付きオープン形ガスターゲットを提供する。例文帳に追加

To provide an open type gas target equipped with gas flow regulating mechanism capable of independently regulating the gas quantity flowing into a beam chamber and the gas quantity supplied into the gas target. - 特許庁

電子ビームとレーザ光との衝突点をガスターゲットの位置関係に応じて最適に設定し、レーザ光の減衰を防止することで、Ｘ線の発生効率を向上する。例文帳に追加

To improve generation efficiency of X rays by preventing attenuation of laser light through optimum setting of collision points of electron beams and the laser light in accordance with positional relations of a gas target. - 特許庁

ガスターゲットカナール３の中央のガス供給部３Ａに流量調整バルブ１０を介して補助カナール１１及び１２の一端を接続する。例文帳に追加

One-side ends of auxiliary canals 11 and 12 are connected to the central gas feed part 3A of a gas target canal 3 through a flow regulating valve 10. - 特許庁

該ヒータにより溶液を加熱することにより気化したＳｎ化合物を含む気体は、ガスボンベ１３に充填されたキャリアガスによりノズル３に運ばれて真空チャンバの内部に噴射され、レーザ装置６から発生したレーザ光を照射されるとプラズマ化してＥＵＶ光を発生するガスターゲットとして作用する。例文帳に追加

Gas containing the Sn compound vaporized by heating the solution by the heater acts as a gas target which is carried to a nozzle 3 by carrier gas filled in a gas bomb 13 and is ejected into the interior of the vacuum chamber, and changed into plasma and generates EUV light when irradiated by laser light generated by a laser device 6. - 特許庁