シンクロトロン光の英語

シンクロトロン放射光の光路内に、薄膜が取り付けられた窓が配置されている。例文帳に追加

A window 37 a fitted with a thin film 31 is arranged in the optical path of the synchrotron radiation. - 特許庁

マスク部材を介して第２の膜の表面の一部にシンクロトロン放射光を照射し、該シンクロトロン放射光の照射された部分の第２の膜を該シンクロトロン放射光によりエッチングし、エッチングされた領域の底面に第１の膜の表面の一部を露出させる。例文帳に追加

The synchrotron radiation is emitted on a part of the surface of the second film via the mask member, the second film of the part irradiated with the synchrotron radiation is etched by the synchrotron radiation, and a part of the first film is exposed on a bottom surface of the etched area. - 特許庁

高周波加速空胴、シンクロトロン、粒子線治療装置及び放射光発生装置例文帳に追加

HIGH-FREQUENCY ACCELERATION CAVITY, SYNCHROTRON, CORPUSCULAR BEAM CURING DEVICE AND RADIANT-RAY GENERATION DEVICE - 特許庁

薄膜は、シンクロトロン放射光を減衰させる材料からなり、薄膜を透過するシンクロトロン放射光の該薄膜内の光路長が、その面内で一様ではないように構成されている。例文帳に追加

The thin film 31 is made of a material (beryllium) attenuating the radiation and the optical path length in the thin film 31 of the synchrotron radiation passing through the thin film 31 is made nonuniform in the plane. - 特許庁

露光領域内の露光量の分布を均一に近づけることができるシンクロトロン放射光伝搬装置を提供する。例文帳に追加

To provide a propagating device for synchrotron radiation capable of making the distribution of the exposure quantity in an exposure region nearly homogeneous. - 特許庁

シンクロトロン放射光を用いてＥＵＶ露光することができ、且つ光の利用効率を高くでき、均一な強度でマスクを照射する。例文帳に追加

To attain EUV(extreme ultraviolet) exposure by using synchrotron radiation beam, and to improve the usage efficiency of lights, and to irradiate a mask with uniform intensity. - 特許庁

シンクロトロン放射光を用いたＸ線リソグラフィーをシステム全体の稼働効率を向上させつつ行なうことを可能とする。例文帳に追加

To perform X-ray lithography using a synchrotron radiant light beam while improving the operational efficiency of the entire system. - 特許庁

次に、マスク１１０を用い、カーボンナノチューブ１０３の所望の領域（２箇所）に、シンクロトロン放射光１１１が照射された状態とする。例文帳に追加

Next, a synchrotron radiant ray is irradiated to the predetermined areas(two positions) of the carbon nano-tube 103 using a mask 110. - 特許庁