スタナンの英語

また、液化モノスタナン容器を複数設け、複数の液化スタナン容器において、供給と液化貯蔵を時間的に交互に繰り返すことにより、長時間連続でＳｎのイオンから極端紫外の発光が得られるようにしてもよい。例文帳に追加

In addition, a plurality of liquefaction stannane containers are provided, and supply and liquefaction storage operations are alternately repeated therein, thereby continuously obtaining light emission of extreme ultra-violet ray from Sn ions for a long time. - 特許庁

非オレフィン系連鎖移動剤には、Ｈ_２、アルキルシラン、アルキルアルコキシシラン、アルキルゲルマン、アルキルアルコキシゲルマン、アルキルスタナン、およびアルキルアルコキシスタナンからなる群より選択される１種以上の化合物が含まれる。例文帳に追加

The non-olefinic chain transfer agent includes one or more compounds selected from the group consisting of H_2, alkylsilanes, alkylalkoxysilanes, alkylgermanes, alkylalkoxygermanes, alkylstannanes, and alkylalkoxystannanes. - 特許庁

非オレフィン系連鎖移動剤には、Ｈ_２、アルキルシラン、アルキルアルコキシシラン、アルキルゲルマン、アルキルアルコキシゲルマン、アルキルスタナン、およびアルキルアルコキシスタナンからなる群より選択される１種以上の化合物が含まれる。例文帳に追加

The non-olefinic chain transfer agent includes one or more compounds selected from H_2, alkylsilanes, alkylalkoxysilanes, alkylgermanes, alkylalkoxygermanes, alkylstannanes, and alkylalkoxystannanes. - 特許庁

液化モノスタナン容器からプラズマ生成部へのＳｎＨ_4 ガスの供給流量を一定にし、ＥＵＶ出力を安定化すること。例文帳に追加

To stabilize an EUV output by making constant a flow rate of supplied SnH_4 gas from a liquefied mono-stannane container to a plasma generating unit. - 特許庁

また、流量計１４を設ける代わりに、液化モノスタナン容器１のガス圧を検出するガス圧計を設けて、液化モノスタナン容器１内のガス圧を制御して、ＳｎＨ_4 ガスのプラズマ生成部３への供給量を一定にするようにしてもよい。例文帳に追加

In addition, a gas pressure gage for detecting a gas pressure in the liquefied mono-stananne container 1 may be provided in place of the flowmeter 14 to control the gas pressure in the container 1, and to make constant the quantity of the SnH_4 gas supplied to the plasma generating unit 3. - 特許庁

液化スタナン容器５に貯蔵されたＳｎＨ_4 は、プラズマ生成部６に供給され、レーザあるいは放電によりプラズマ化され、Ｓｎイオンから１３．５ｎｍの極端紫外光を得る。例文帳に追加

The SnH_4 stored in the liquefaction stannane container 5 is supplied to a plasma generation part 6, and it is changed to plasma by laser or electric discharging, resulting in generating an extreme ultra-violet ray of 13.5 nm from Sn ions. - 特許庁

流量計１４の出力信号を制御部１５に入力し、制御部１５によりバルブ１０の開度を調整し、液化モノスタナン容器１に巻かれたガスパイプ９に流すガス８の流量を調整する。例文帳に追加

An output signal from the flowmeter 14 is input to a control unit 15, an aperture of a valve 10 is controlled by the control unit 15, and the flow rate is regulated in the gas 8 flowing to a gas pipe 9 wound around the liquefied mono-stannane container 1. - 特許庁

液化モノスタナン容器１内で液化ＳｎＨ_4 ２が蒸発するときに気化熱を奪うが、上記構成とすることにより、液化ＳｎＨ_4 ２の温度が調整され、ＳｎＨ_4 ガスのプラズマ生成部３への供給量を一定に制御することができる。例文帳に追加

Although heat of evaporation is dissipated when the liquefied SnH_4 2 evaporates in the container 1, this constitution can regulate the temperature of the liquefied SnH_4 2, and control the quantity of the SnH_4 gas supplied to the plasma generating unit 3 to be constant. - 特許庁