ターゲット・パターンの英語

計測ターゲット・パターン化デバイス・コントローラが、製品パターンとは別個に計測ターゲット・パターンを調整する。例文帳に追加

A measuring-target patterning device controller adjusts the measuring target pattern separately from the product pattern. - 特許庁

製品パターン化デバイスと計測ターゲット・パターン化デバイスは分離されている。例文帳に追加

The product patterning device is separated from the measuring-target patterning device. - 特許庁

デバイス形成領域内において、ターゲット・パターンの近傍領域中にアライメント基準座標を設定し、そのアライメント基準座標に基づいて高精度にターゲット・パターンを迅速かつ自動的に検出すること。例文帳に追加

To quickly and automatically detect a high precision target pattern based on reference coordinates of alignment by setting the reference coordinates for alignment in a region near the target pattern in the device-forming region. - 特許庁

そのアライメント・パターンのアライメント基準座標と、ターゲット・パターンの中心座標とが一致するように位置合わせし（S16）、ターゲット・パターンを検出する（S17）。例文帳に追加

Alignment is conducted to attain matching between the reference coordinates of alignment for alignment pattern and the center coordinates of the target pattern (S16), to thereby detect the target pattern (S17). - 特許庁

第１ステップ（ステップ３２）は、横のマスクを画定するために、モデルベースＯＰＣを用いてターゲット・パターンの縦のエッジにシールドを施すこと、ならびに縦のマスクを画定するためにターゲット・パターンの横のエッジにシールドを施す。例文帳に追加

A first step (a step 32) is to apply a shield to the vertical edge of a target pattern by using a model base OPC (Optical Proximity Correction) in order to delineate the lateral mask and to apply a shield to the lateral edge of the target pattern in order to delineate the vertical mask. - 特許庁

放射線ビームを提供する照明システムと、照明システムからの放射線ビームの断面に製品デバイスのフィーチャを表す製品パターンを付与する製品パターン化デバイスを支持する支持構造と、放射線ビームの断面に、計測ターゲットを表す計測ターゲット・パターンを付与する計測ターゲット・パターン化デバイスとを有するリソグラフィ装置が提供される。例文帳に追加

The lithography apparatus has a lighting system that provides a radiation beam, a support structure for supporting a product patterning device that adds a product pattern indicating a feature of a product device to a profile of the radiation beam from the lighting system, and a measuring-target patterning device that adds a measuring target pattern indicating a measuring target to the profile of the radiation beam. - 特許庁

投影システムが、基板テーブルに保持された基板上のターゲット部分に、製品パターン化デバイスおよび計測ターゲット・パターン化デバイスによってパターン化された放射線を投射する。例文帳に追加

A projection system projects the radiation patterned by the product patterning device and the measuring-target patterning device. - 特許庁