プラズマ誘起の英語

この誘電体部材のプラズマ処理室内部側に、突起を設ける。例文帳に追加

The dielectric member has projections on one side faced to the inside of the plasma treatment chamber. - 特許庁

プラズマ生成部１０は、誘電体板２の表面を伝播する表面波Ｓのエネルギーにより表面波励起プラズマＰを生成する。例文帳に追加

A plasma-generating part 10 generates surface wave-excited plasma P using an energy of a surface wave S transmitted across the surface of a dielectric plate 2. - 特許庁

誘電体の全領域にわたって均一なプラズマを生成することができる表面波励起プラズマ処理装置例文帳に追加

To provide a surface wave excitation treatment device capable of generating uniform plasma ranging over the entire region of a dielectric. - 特許庁

本発明のアッシング装置は、誘電体プラズマ発生室１４にガスを導入し、当該ガスを励起させてプラズマを生起し、前記ガスプラズマによってＬｏｗ−Ｋ膜を用いた被処理対象物Ｓのプラズマ処理を行うアッシング装置である。例文帳に追加

The ashing device introduces gas into a dielectric plasma generating chamber 14 and excites the gas to produce plasma and effect plasma process of an object to be processed S by the gas plasma employing the Low-K film. - 特許庁

プラズマ形成領域内にプラズマ１７７が存在する場合には、プラズマが浮遊コンタクト１６２上に電圧を誘起させ、この電圧が測定デバイスによって検出される。例文帳に追加

When a plasma 177 exists in the plasma forming region, the plasma induces a voltage on the floating contact 162, and the voltage is detected with the measurement device. - 特許庁

電極間に放電を誘起させてプラズマ処理室内にプラズマを生成した状態で、被処理ガスをプラズマ処理室内に導入して、ガスの処理を行う。例文帳に追加

The gas is processed by introducing the gas to be processed into the plasma processing chamber 1b in which plasma is generated by inducing the discharge between the electrodes. - 特許庁

大気圧下において、高強度、かつ、大体積のレーザー光誘起プラズマを、低出力のレーザー光を用いて容易な制御により実現できるようなされたプラズマ生成方法及びプラズマ生成装置を提供する。例文帳に追加

To provide a plasma generation method and a plasma generation device in which laser beam-induced plasma of a high intensity and a large capacity can be generated under an easy control in atmospheric pressure by using a low-output laser beam. - 特許庁

プラズマ処理装置２０では、誘電体チューブ２３の内部空間Ｓに表面波励起プラズマを生成させ、常圧下でプラズマ除害処理を行う。例文帳に追加

Surface wave exciting plasma is formed in the internal space S of a dielectric tube 23 within the plasma treatment device 20 and plasma detoxifying treatment is performed under a normal pressure. - 特許庁