プルチャックの英語

サンプルチャック例文帳に追加

SAMPLE CHUCK - 特許庁

半導体サンプルの保持にあたって、平坦性、電気的接触、低重量、低汚染および低コストが実現できるサンプルチャックを提供すること。例文帳に追加

To provide a sample chuck capable of realizing flatness, electric contact, lightweight, low contamination and cost reduction in holding a semiconductor sample. - 特許庁

サンプルチャック２は、導電金属による基礎構造体４、保持面１８を形成する半導体層６を有する。例文帳に追加

The sample chuck 2 has a basic structure body 4 made of conductive metal and a semiconductor layer 6 forming the holding surface 18. - 特許庁

サンプルチャックの保持面における電気的特性のばらつきを補償することができる半導体ウェハ試験方法および半導体ウェハ試験装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a semiconductor wafer test method and a semiconductor wafer tester which can compensate the unevenness of electric characteristics on a holding surface of a sample chuck. - 特許庁

この基板処理装置１は、ウエハＷを非接触状態で保持するためのプッシュプルチャック２と、ウエハＷの処理に用いる処理液を貯留するための処理液貯留容器３とを備えている。例文帳に追加

The substrate processor 1 is provided with a push-pull chuck 2 for holding a wafer W in the non-contact state and a processing liquid reserving vessel 3 for reserving the processing liquid used for processes of the wafer W. - 特許庁

ウェハ試験装置１は、保持面１８でウェハ１３を保持するサンプルチャック２と、保持面１８およびウェハ１３の表面の電気的特性を検査するプローブ５０とを有する。例文帳に追加

The wafer tester 1 has the sample chuck 2 for holding a wafer 13 on the holding surface 18 and a probe 50 for inspecting electric characteristics of the holding surface 18 and the surface of the wafer 13. - 特許庁

半導体サンプル１３を支持するサンプルチャック２は、半導体材料から形成されかつ前記サンプルを保持する保持面１８を有する上側層６と、導電材料から形成されかつ前記上側層の前記保持面とは反対側に積層された下側層４とを備えている。例文帳に追加

The sample chuck 2 supporting the semiconductor sample 13 is provided with an upper side layer 6 formed of a semiconductor material and having a holding face 18 holding the sample, and a lower side layer 4 formed of a conductive material and laminated on the contrary side to the holding face of the upper side layer. - 特許庁