マイクロパイプの英語

マイクロパイプを含む炭化珪素基板を用いた炭化珪素整流素子において、マイクロパイプの影響を無くし、大面積の炭化珪素整流素子を歩留まりよく製造する。例文帳に追加

To eliminate the influence of micropipes, and to manufacture the silicon carbide rectifying element of a large area, using a silicon carbide substrate including the micropipe. - 特許庁

種結晶が有するマイクロパイプ欠陥を効果的に閉塞し、マイクロパイプ欠陥の伝播がない炭化ケイ素単結晶の製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for producing a silicon carbide single crystal without the propagation of micropipe defects, in which the micropipe defects that a seed crystal possesses are effectively occluded. - 特許庁

マイクロパイプ欠陥が少なく、膜厚の再現性および均一性が高い単結晶ＳｉＣエピタキシャルを生成する。例文帳に追加

To produce a single crystal SiC epitaxial film which is less in micropipe defects and high in reproducibility and uniformity of film thickness. - 特許庁

マイクロパイプ欠陥が発生しにくく、かつ結晶成長速度を向上させた炭化珪素単結晶のエピタキシャル成長方法を提供する。例文帳に追加

To provide an epitaxial growth method for a silicon carbide single crystal which method hardly causes micropipe defects and improves the crystal growth rate. - 特許庁

続いてレジストをマスキング材としてマイクロパイプをエッチングする際、エッチング途中でリンスし、再びエッチングを続ける工程をとる。例文帳に追加

When etching the micro pipe using the resist as a masking material, etching is rinsed during process, and then etching is continued. - 特許庁

格子欠陥およびマイクロパイプ欠陥の非常に少ない高品位の単結晶を非常に生産性よく製造することができるようにする。例文帳に追加

To produce a high grade single crystal at high productivity, hardly containing lattice defect and micropipe defect. - 特許庁

ＳｉＣ基板に存在するマイクロパイプを、閉塞させることが可能な半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide a manufacturing method of a semiconductor device that can block a micropipe existing in an SiC substrate. - 特許庁

マイクロパイプや転移に起因する素子特性の低下のない半導体素子及びその製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a semiconductor device for preventing deterioration in element characteristics caused by a micropipe and transition and to provide a method for manufacturing the semiconductor device. - 特許庁