マイクロパイプの英語

新たな成長層にてマイクロパイプ欠陥を閉塞させるのではなく、炭化珪素単結晶基板に存在しているマイクロパイプ欠陥を閉塞させることができるようにする。例文帳に追加

To block the micro pipe defects in the silicon carbide single crystal substrate but not to block the micro pipe defects in a new growth layer. - 特許庁

単結晶基板の有するマイクロパイプの影響が引き継がれないようにして、歪み及びマイクロパイプ欠陥が出現しない高品位な単結晶ＳｉＣが得られるようにする。例文帳に追加

To obtain high-grade single crystal SiC in which strain and micropipe defect do not appear by growing the single crystal so that influence of micropipe which a single crystal substrate has is not taken over. - 特許庁

金属マイクロパイプの外表面にレジストを付し、露光ビームを当てて螺線状に走査露光する。例文帳に追加

A resist is applied to an outer surface of a metallic micro pipe, and exposure beam is applied to spirally scanning and exposing. - 特許庁

そして、熱処理を施し、マイクロパイプ欠陥中が炭化珪素蒸気種で飽和状態になるようにする。例文帳に追加

The coated single crystal is heat-treated so that the inside of the micro pipe defect may be saturated with silicon carbide vapor. - 特許庁

炭化珪素単結晶の成長面全体においてマイクロパイプ欠陥の継承を防止できるようにする。例文帳に追加

To suppress the succession of the defect growth of the micro pipe all over the faces of the silicon carbide single crystal. - 特許庁

マイクロパイプ等の欠陥を抑制した高品質な長尺、大口径の単結晶ＳｉＣを提供する。例文帳に追加

To provide a high quality, long single crystal SiC having a large diameter in which the occurrence of defects such as micropipes is suppressed. - 特許庁

抑制層３０中の窒素の濃度プロファイルは急峻になっているため、マイクロパイプの引継ぎを抑制できる。例文帳に追加

As a concentration profile of nitrogen in the restriction layer 30 is steep, it is possible to restrict an inherit of micro-pipe. - 特許庁

マイクロパイプ欠陥が少なく、膜厚の再現性および均一性が高い単結晶ＳｉＣエピタキシャルを生成する。例文帳に追加

To produce a single crystal SiC epitaxial film which is less in micropipe defects and high in reproducibility and uniformity of film thickness. - 特許庁