MICROPIPEとは 意味・読み方・使い方

To produce a high grade single crystal at high productivity, hardly containing lattice defect and micropipe defect.例文帳に追加

格子欠陥およびマイクロパイプ欠陥の非常に少ない高品位の単結晶を非常に生産性よく製造することができるようにする。 - 特許庁

The micropipe density represents a count of the total micropipes on the surface divided by the surface area of the wafer.例文帳に追加

なお、マイクロパイプ密度は、表面上にある全マイクロパイプの総数を、ウェハの表面積で割ったものを表す。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a semiconductor device that can block a micropipe existing in an SiC substrate.例文帳に追加

ＳｉＣ基板に存在するマイクロパイプを、閉塞させることが可能な半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a semiconductor device for preventing deterioration in element characteristics caused by a micropipe and transition and to provide a method for manufacturing the semiconductor device.例文帳に追加

マイクロパイプや転移に起因する素子特性の低下のない半導体素子及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

In particular, the micropipe defect and in-base-plane defect can be discriminated from other defects by using the classifying method.例文帳に追加

特に、本発明による分類方法を用いることにより、マイクロパイプ欠陥及び基底面内欠陥を他の欠陥から区別することが可能である。 - 特許庁

METHOD FOR MANUFACTURING SIC CRYSTAL TO REDUCE MICROPIPE PROPAGATING FROM SUBSTRATE AND SiC CRYSTAL, SiC SINGLE CRYSTAL FILM, SiC SEMICONDUCTOR ELEMENT, SiC SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE AND ELECTRONIC DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING SiC BULK CRYSTAL例文帳に追加

基板から継続するマイクロパイプを低減させるＳｉＣ結晶の製造方法およびＳｉＣ結晶、ＳｉＣ単結晶膜、ＳｉＣ半導体素子、ＳｉＣ単結晶基板および電子デバイス、ならびにＳｉＣバルク結晶の製造方法 - 特許庁

To provide a silicon carbide single crystal with a large diameter and high quality, including little micropipe defects, screw dislocation and edge dislocation, a silicon carbide substrate and a method for manufacturing the substrate.例文帳に追加

マイクロパイプ欠陥，螺旋転位，及び刃状転位をほとんど含まず，大口径高品質の炭化珪素単結晶、炭化珪素基板及びその製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a high quality, high performance single crystal of SiC not only little in the generation of micropipe defects and interface defects, but having a wide terrace and high in the flatness of the surface.例文帳に追加

マイクロパイプ欠陥や界面欠陥等の発生が少ないとともに、幅広なテラスを有し表面の平坦度の高い、高品質、高性能な単結晶SiCの提供すること。 - 特許庁