反応性エッチングの英語

平行平板式反応性イオンエッチング装置例文帳に追加

PARALLEL PLATE REACTIVE ION ETCHING SYSTEM - 特許庁

反応性イオンエッチングにより、下地層３をエッチングすることで、凸部分４を形成する。例文帳に追加

Protruding parts 4 are formed by reactive ion etching of the foundation layer 3. - 特許庁

ある実施態様においては、エッチングは反応性イオンエッチングプロセスにより行うことができる。例文帳に追加

In some implementations, the etching may be performed by means of a reactive ion etching process. - 特許庁

反応性イオンエッチング用のマスク材料、マスク及びドライエッチング方法例文帳に追加

MASKING MATERIAL FOR REACTIVE ION ETCHING, MASK AND DRY ETCHING METHOD - 特許庁

犠牲層１４を反応性イオンエッチングによってエッチングしその厚さを減少させる。例文帳に追加

The sacrifice layer 14 is etched by a reactive ion etching to reduce its thickness. - 特許庁

反応性イオンエッチングの際のエッチング室内のガス圧を９．３〜１０．７Ｐａとする。例文帳に追加

Gas pressure in an etching chamber in the case of the reactive ion etching is set to be 9.3-10.7 Pa. - 特許庁

ディープ・トレンチ・シリコン・エッチングの反応性イオン・エッチング・ラグを低減する方法例文帳に追加

METHOD OF REDUCING REACTIVE ION ETCHING LAG IN DEEP- TRENCH SILICON ETCHING - 特許庁

反応性イオンエッチングによる貫通孔の形成方法及び反応性イオンエッチングにより形成された貫通孔を有する基板例文帳に追加

METHOD FOR FORMING THROUGH HOLE BY REACTIVE ION ETCHING AND SUBSTRATE HAVING THROUGH HOLE FORMED BY REACTIVE ION ETCHING - 特許庁