多重処理用機構の英語

多重分離を行う多重変換ユニット構成の簡略化を実現し、クロック切り替えを含むスイッチ処理機構または接続の変更を簡単化して、装置および運用のコストを低減させる。例文帳に追加

To reduce cost for device and operation by simplifying a multiple conversion unit configuration for multiple separation and simplifying a switch processing mechanism including clock switching or a change in connection. - 特許庁

仕様変更に柔軟に対応でき，簡易な構成および回路の多重化により故障時の安全性の高いインターロック機構，その方法，それを採用した成膜処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide an interlock mechanism, its method, and a film forming device applying the same, capable of flexibly coping with the modifications, and improving the safely in failure by applying a simple constitution and multiplexing a circuit. - 特許庁

半導体製造プロセス用吸光分析装置は、半導体製造プロセスの処理チャンバ３９の排気流路に接続された流路切換え機構５０と、レーザ光源からのレーザ光をセル内で多重反射させてガスによる吸光度変化を検出してプロセスガス中の水分濃度を測定する多重反射型水分濃度計測用吸光分析計５１とを備えている。例文帳に追加

This absorption spectrometric apparatus for the semiconductor manufacturing process includes: a channel switching mechanism 50 connected to an exhaust channel of a processing chamber 39 in the semiconductor manufacturing process; and an absorption spectrometric apparatus 51 for multiple reflection type moisture concentration measurement for detecting an absorbance change caused by gas by multiple reflection in the cell of laser light from a laser light source, and measuring the moisture concentration in process gas. - 特許庁