関連する構造特徴の各データ点の空間位置の直接測定は、システムドリフとを最少にして測定精度を上げながらも微小寸法の決定をより迅速にする。例文帳に追加

The direct measurement of space position in each data point of concerned structure characteristics minimizes system drift and quicken the determination of small dimensions even with raising measurement accuracy. - 特許庁

本発明の目的は、試料を透過した電子を用いて観察するＴＥＭやＳＴＥＭ、或いはＳＥＭにおいて、画像のサブミクロンから数１０μｍの微小寸法を高い精度で測定可能にする荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供することにある。例文帳に追加

To provide a standard sample for charged particle beam and a charged particle beam device using the same, allowing measurement of fine dimensions of an image in a submicrometer to tens of micrometers in high accuracy in TEM and/or STEM for observation by using electrons transmitted through a sample, or SEM. - 特許庁

本発明の目的は、試料を透過した電子を用いて観察するＴＥＭやＳＴＥＭ、或いはＳＥＭにおいて、画像のサブミクロンから数１０μｍの微小寸法を高い精度で測定可能にする荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供することにある。例文帳に追加

To provide a standard sample for a charged particle beam which enables high-accuracy measurement of a micro-dimension from the order of submicron to a several tens μm of an image, and a charged particle beam device using the sample. - 特許庁

本発明は、このような問題点を鑑みてなされたもので、微小な素子であるにも関わらず、離間しているが故に倍率を低くして寸法測定を行わざるを得ない対象試料の測長を高精度に行うことを目的とするものである。例文帳に追加

To execute highly accurately length measurement of a target sample whose dimensional measurement is required to be executed with a lowered magnification because of being separated in spite of a fine element, in consideration of such problems. - 特許庁