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微小寸法測定精度の部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 6件
内部に微小寸法の流路が形成されたチップの流路内の流体、特に液体の濃度を効率よく、精度よく、安定して測定する。例文帳に追加
To efficiently, accurately, and stably measure a concentration of fluid, especially liquid in a channel of a chip in which the channel having a fine size is formed. - 特許庁
マスク上の微小なパターンやホールを非破壊、非接触、かつ高精度に、その寸法を測定することを可能にするとともに、計測視野に入らないような長寸法計測をも可能にする測定装置およびそれを用いた測定方法を提供することを目的とする。例文帳に追加
To provide a mask dimension measuring instrument, capable of measuring the dimension of the minute pattern or hole on a mask in a non destructive and non contact state with high accuracy and also capable of measuring a long dimension not entering a measuring visual field, and a measuring method using the same. - 特許庁
関連する構造特徴の各データ点の空間位置の直接測定は、システムドリフとを最少にして測定精度を上げながらも微小寸法の決定をより迅速にする。例文帳に追加
The direct measurement of space position in each data point of concerned structure characteristics minimizes system drift and quicken the determination of small dimensions even with raising measurement accuracy. - 特許庁
本発明の目的は、試料を透過した電子を用いて観察するTEMやSTEM、或いはSEMにおいて、画像のサブミクロンから数10μmの微小寸法を高い精度で測定可能にする荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供することにある。例文帳に追加
To provide a standard sample for charged particle beam and a charged particle beam device using the same, allowing measurement of fine dimensions of an image in a submicrometer to tens of micrometers in high accuracy in TEM and/or STEM for observation by using electrons transmitted through a sample, or SEM. - 特許庁
本発明の目的は、試料を透過した電子を用いて観察するTEMやSTEM、或いはSEMにおいて、画像のサブミクロンから数10μmの微小寸法を高い精度で測定可能にする荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供することにある。例文帳に追加
To provide a standard sample for a charged particle beam which enables high-accuracy measurement of a micro-dimension from the order of submicron to a several tens μm of an image, and a charged particle beam device using the sample. - 特許庁
本発明は、このような問題点を鑑みてなされたもので、微小な素子であるにも関わらず、離間しているが故に倍率を低くして寸法測定を行わざるを得ない対象試料の測長を高精度に行うことを目的とするものである。例文帳に追加
To execute highly accurately length measurement of a target sample whose dimensional measurement is required to be executed with a lowered magnification because of being separated in spite of a fine element, in consideration of such problems. - 特許庁
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