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「最高作業温度」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 3件
反応室内のヒータ表面の最高温度を抑制するとともに、反応室内の伝熱面積を大きくし、供給ガスを高い熱効率で加熱することができる構造を簡略化した組み立て及び点検等の作業性に優れたトリクロロシラン製造装置を提供する。例文帳に追加
To provide an apparatus for producing trichlorosilane simplified in structure and excellent in workability such as assembling, inspection and the like, which has a restraint on a maximum temperature on the surface of a heater in a reaction chamber, and enlarged in a heat transfer area in the reaction chamber to enable supplied gas to be heated with high heat efficiency. - 特許庁
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