欠陥位相構造の英語

アンダーカット構造を持つレベンソン型位相シフトマスクの欠陥に対して、光量の低下が起こらないような高精度な欠陥修正を行う。例文帳に追加

To accurately eliminate a defect in a Levenson type phase shifting mask having an undercut structure in such a way as not to cause lowering of light intensity. - 特許庁

１対のセンサ５、５の出力信号同士の間に存在する位相差に基づいて、外輪１とハブ２との間に作用する荷重を算出する荷重測定装置に関し、構成部品や配線等に欠陥が生じた事に伴い、上記各センサ５、５の出力信号に異常が発生した事を検知できる構造を実現する。例文帳に追加

To provide structure capable of detecting the generation of abnormality in output signals from sensors 5, 5, in accompaniment to the generation of a defect in a constitutive component, a wire or the like, as to a load measuring instrument for calculating a load acting between an outer ring 1 and a hub 2, based on a phase difference existing between the fellow signals from the pair of sensors 5, 5. - 特許庁