欠陥一覧表の英語

レビュー装置が検出した欠陥のステージ位置から、そのステージ位置に近い欠陥候補を検査装置が提供する欠陥情報（欠陥種別，欠陥画像，欠陥サイズ）とともに一覧表示し、ファインアライメント補正に使用する欠陥を選択できるようにする。例文帳に追加

From the stage position of a defect detected by a review device, a defect candidate close to that stage position is listed along with the defect information (defect type, defect image, defect size) provided by an inspection device, so that a defect for use in the fine alignment correction can be selected. - 特許庁

また、相関グラフ＆欠陥画像表示部３８は、それぞれの欠陥の欠陥サイズと危険率との相関関係を表した相関グラフを作成し、表示装置４０に表示するとともに、さらに、その相関グラフを用いて選択された１以上の欠陥の欠陥画像一覧を表示する。例文帳に追加

A correlation graph and defect image display part 38 generates a correlation graph representing correlation between defect sizes and risk levels of respective defects and displays the correlation graph on a display device 40 and furthermore displays a defect image list of one or more defects selected using the correlation graph. - 特許庁

欠陥確認画面は、ウェハマップを表示する「マップ表示部」６１、欠陥画像を一覧表示する「画像表示部」６２、欠陥の詳細情報を表示及び設定する「リスト表示部」６３、選択された欠陥項目についてグラフ表示する「グラフ表示部」６４を有する。例文帳に追加

A defect checking screen includes; a map display section 61 for displaying a wafer map; an image display section 62 for displaying a defective image in a listed fashion; a list display section 63 for displaying and setting detailed information of the defect; and a graph display section 64 for carrying out a graphic display about a selected defect item. - 特許庁

検査装置から出力される欠陥・画像情報と、観察装置から出力されるADR・ADC情報とをデータ処理装置上で突き合わせをし、一覧表示させると共に、そのデータを用いて欠陥特徴量と平均検出率の関係や、レビューカテゴリごとにその欠陥特徴量と検出数を示す。例文帳に追加

Defect/image information output from an inspection device is butted on ADR/ADC information output from an observation means on a data processor, they are listed and displayed, and a relation between the defect characteristic amount and average detection ratio is displayed using the data, and the defect characteristic amount and the number of detections are displayed every review category. - 特許庁