自由行路の英語

また、アシスト車ＡはダンプトラックＤに接続されて共に移動するので、ダンプトラックＤの走行路の自由度を大幅に改善できる。例文帳に追加

Moreover, since the assist vehicle A shifts together with the dump truck D coupled thereto, the latitude of the travel track for the dump truck D can be improved significantly. - 特許庁

キャビネット2上にて蓋体4の自由端部側には、メカニズムデッキ5の挿入移行路上に配備されてキャビネット2に着脱自在に設けられ、キャビネット2から取り外された状態にてメカニズムデッキ5の挿入を許す覆い部材20が設けられている。例文帳に追加

A cover member 20 that allows the insertion of the mechanism deck 5 when it is removed from the cabinet 2 is provided freely attachably and detachably to/from the cabinet on an insertion and moving path of the mechanism deck 5 at the fee end side of the cover 4 on the cabinet 2. - 特許庁

このようなプロセス条件下では、従来の成膜条件に比較して触媒体３と基板１０との距離が大きく、成膜圧力が低圧化されるため、反応ガスの平均自由行路が増加され、反応ガスの気相反応が抑制され、カバレッジのよい絶縁膜を形成できる。例文帳に追加

Under these processing conditions, the distance between the catalytic substance 3 and the substrate 10 is larger and a film-forming pressure is lower than the conventional film- forming conditions, increasing a mean free path of a reaction gas while suppressing the gas phase reaction thereof, resulting in the formation of an insulation film having prosper coverage. - 特許庁

制御装置４２は、圧力センサ４４の検出信号から処理室１２の内部が減圧され、放電ユニット２０から送られてくる活性種を含む処理ガスの平均自由行路が、ガス導入口２２から半導体基板１までの距離より大きくなると、開閉弁３８を開放して処理ガスを処理室１２に供給する。例文帳に追加

A control apparatus 42 opens a switching valve 38 and supplies the processing gas to the processing chamber 12, when the inside of the processing chamber 12 is evacuated with a detection signal of a pressure sensor 44, and the average free path of the processing gas including active seeds sent from the discharge unit 20 becomes longer than the distance from the gas inlet port 22 up to the semiconductor substrate 1. - 特許庁