薄層モニタ法の英語

スパッタリングおよび各種蒸着による成膜プロセスにおいて、回転楕円体基盤表面へ積層構造の光学膜を形成する際にその膜厚と各種分光特性をリアルタイムでモニターしながら薄膜を形成する方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for depositing a thin film while monitoring film thickness and various spectral characteristics in real time when depositing an optical film of laminated structure in a film deposition process by means of sputtering and vapor deposition of various kinds. - 特許庁

本発明の一実施例による２次電源用電極の製造方法は、導電性シート上に電極物質を形成する段階と、電極物質上にリチウムを蒸着してリチウム薄膜層を形成する段階と、蒸着されたリチウムを上記電極物質上にドーピングする段階と、リチウムのドーピング量をモニターしてドーピングレベルを調節する段階とを含む。例文帳に追加

A method of manufacturing an electrode for a secondary power source according to one embodiment of the present invention comprises the steps of: forming an electrode material on a conductive sheet; forming a Li thin film layer by vapor-depositing lithium (Li) on the electrode material; doping the electrode material with the deposited Li; and controlling a doping level by monitoring the doping amount of Li. - 特許庁