電子ビーム加熱真空蒸着装置の英語

１バッチの蒸着終了後、電子ビーム加熱装置６からの電子ビームによる蒸着原料である金属アルミニウムの加熱が停止し、真空排気が開始されると同時に加熱保温装置９が作動する。例文帳に追加

After the deposition of one batch is completed, heating of an aluminum metal which is a raw material for deposition by the electron beam from an electron beam heating device 6 is stopped, and a heating and heat- insulating device 9 is operated as soon as the evacuation is started. - 特許庁

真空チャンバ１内には、二酸化ケイ素を蒸着物質１１とする坩堝１２からなる第１の蒸着源１０と、ケイ素を蒸着物質２１とする坩堝２２からなる第２の蒸着源２０とが設けられて、第１，第２の電子ビーム加熱装置１３，２３により独立に加熱してそれぞれ二酸化ケイ素及びケイ素を蒸発させる。例文帳に追加

The inside of a vacuum chamber 1 is provided with: a first vapor deposition source 10 consisting of a crucible 12 with silicon dioxide as a vapor deposition material 11; and a second vapor deposition source 20 consisting of a crucible 22 with silicon as a vapor deposition material 21, and they are independently heated by first and second electron beam heating apparatuses 13 and 23, so that silicon dioxide and silicon are evaporated, respectively. - 特許庁

このリチウム二次電池用電極の製造方法は、Ｌｉ_2ＯとＣｏとを組み合わせる工程と、電子ビーム加熱真空蒸着装置１を用いて、集電体７上にＬｉ−Ｃｏ−Ｏ層を含む正極活物質層を形成する工程とを備える。例文帳に追加

The method for manufacturing the electrode for the lithium secondary battery includes a process where Li_2O is coupled with Co, and a process where a positive pole active material layer containing an Li-Co-O layer is formed on a collector 7 using an electron beam heating vacuum vapor- deposition apparatus 1. - 特許庁