Germano-とは 意味・読み方・使い方

Since the metallic layer is formed on the polycrystalline silicon/germanium layer, to form the metallic germano-silicide layer by heat treatment and to form the source and drain regions, the metallic germano-silicide layer can be formed through heat treatment at a lower temperature, in comparison with the case of forming the silicide from a single-crystal silicon and a metal or forming the silicide from polycrystalline silicon and metal.例文帳に追加

多結晶シリコン・ゲルマニウム上に金属層を形成して熱処理により金属のジャーマノシリサイド層を形成してソース、ドレイン領域を形成しているので、単結晶シリコンと金属とからシリサイドを形成する場合や多結晶シリコンと金属とからシリサイドを形成する場合に比較して、より低い熱処理で金属のジャーマノシリサイド層を形成することができる。 - 特許庁