ION-OPTICSとは 意味・読み方・使い方

ION-OPTICS SYSTEM例文帳に追加

イオン光学システム - 特許庁

Additionally, the drive shaft of a stage mechanism 70 is set vertical to the axis of the ion-optics system and the axis of the electron-optics system as well.例文帳に追加

更に、ステージ機構７０の駆動軸もイオン光学系の軸と電子光学系の軸に垂直にした。 - 特許庁

To provide an ion-optics system which is improved in its performance and service life, and an ion thruster using the system.例文帳に追加

性能および寿命の向上したイオン光学システム及び当該システムを用いたイオンスラスタを提供する。 - 特許庁

In order to observe a worked cross section being worked by an FIB, the axis of the electron optics system of a scanning electron microscope(SEM) 40 is set vertical to the axis of the ion-optics system of an FIB device 20.例文帳に追加

ＦＩＢで加工中の加工断面を観察するために、ＦＩＢ装置２０のイオン光学系の軸に対しＳＥＭ４０の電子光学系の軸を垂直にした。 - 特許庁

The sample piece 15 is molded by clipping the original sample 5 at a desired position by using a focused ion beam irradiation optics 2.例文帳に追加

集束イオンビーム照射光学系2により元試料5の所望位置において試料片15の切り出しの成形を行なう。 - 特許庁

A wiring 4 of a sample 3 id disconnected at a section 5 to be machined of the wiring 4, with the section 5 etched in the depth direction by scanning the section 5 with an ion beam focused by means of an ion optics device 1.例文帳に追加

イオン光学装置１で集束したイオンビーム２を試料３の配線４の加工部５でスキャンさせることにより、加工部５を深さ方向にエッチングして断線させる。 - 特許庁

A surface where light is incoming or outgoing in a body 1 to be treated for composing the optics is roughened by reaction ion etching using halogen plasma 3 containing an alkali metal.例文帳に追加

光学部品を構成する被処理体１において光が入射又は出射する面を、アルカリ金属を含むハロゲンプラズマ３を用いた反応性イオンエッチングにより粗面化する。 - 特許庁