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SEMICONDUCTOR AND METHOD OF FORMING AIR GAP IN SEMICONDUCTOR DEVICE (AIR GAP WITH SELECTIVE PINCHOFF USING ANTI-NUCLEATION LAYER)例文帳に追加
半導体装置及び半導体装置内に空洞を形成する方法(核化防止層を使用する選択的なピンチ・オフを有する空隙) - 特許庁
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