Radical 155とは 意味・読み方・使い方

The method for cleaning the elements includes the steps of: providing a gas 155 containing nitrogen; generating nitrogen radicals from at least a part of the gas, thereby forming a radical containing gas 165; and providing at least a part of the radical containing gas to the one or more elements 100 of the apparatus.例文帳に追加

窒素を含むガス１５５を供給するステップと、当該ガスの少なくとも一部から窒素ラジカルを生成することにより、ラジカル含有ガス１６５を形成するステップと、当該ラジカル含有ガスの少なくとも一部をリソグラフィ装置の１つ以上の素子１００に供給するステップとを備える。 - 特許庁

A compound containing two functional or more of (meth)acrylate (A) and a radical polymerization initiator (B) represented by formula (1) and/or formula (2) is used as a resin composition, and a heat-curing temperature is made to be 145-155°C.例文帳に追加

樹脂組成物として、２官能以上の（メタ）アクリレート（Ａ）と下記式（１）および／または（２）で表されるラジカル重合開始剤（Ｂ）とを含むものを使用し、かつ、熱硬化の温度を１４５〜１５５℃とする。 - 特許庁