Radical 157とは 意味・読み方・使い方

To obtain an excitation-sensitive composition which exhibits good profiles, to obtain a photosentive composition which especially has high sensitivity in an F_2 laser light (157 nm) exposure wavelength, and a new compound which produces an acid or a radical by an excitation from the outside.例文帳に追加

高感度で、良好なプロファイルを示す感刺激性組成物、また、２００ｎｍ以下、特にＦ_２レーザー光（１５７ｎｍ）の露光波長において高感度の感光性組成物、更には、これらの組成物を提供すべく、外部からの刺激により酸又はラジカルを発生する新規な化合物を提供する。 - 特許庁

To provide a stimulus sensitive composition having high sensitivity and high resolving power and exhibiting good profile, to provide a photosensitive composition having high sensitivity at ≤200 nm, particularly at exposure wavelength of F_2 laser light (157 nm), and also to provide a new compound which generates an acid or a radical under an external stimulus so as to provide these compositions.例文帳に追加

高感度、高解像力で、良好なプロファイルを示す感刺激性組成物、また、２００ｎｍ以下、特にＦ_２レーザー光（１５７ｎｍ）の露光波長において高感度の感光性組成物、更には、これらの組成物を提供すべく、外部からの刺激により酸またはラジカルを発生する新規な化合物を提供する。 - 特許庁