Radical 26とは 意味・読み方・使い方

After forming silica glass 26 on the lower part 4a of the trench 4, a silicon nitride film 27 is formed on the upper part 4b of the trench 4 by radical nitriding.例文帳に追加

シリカガラス２６をトレンチ４の下部４ａ側に形成した後、シリコン窒化膜２７をラジカル窒化処理することによりトレンチ４の上部４ｂ側に形成する。 - 特許庁

The waste water 100 is irradiated with UV rays from a UV lamp 28 through a UV transmission cylinder 26 to form a OH radical by exciting and activating the photocatalyst 32 and the org. material is decomposed and dissipated by the chemical reaction between the OH radical and the org. material.例文帳に追加

紫外線ランプ２８からの紫外線ＵＶを紫外線透過筒２６を介して排水１００に照射し、光触媒３２を励起して活性化してＯＨラジカルを生成し、ＯＨラジカルと有機物との化学反応で有機物を分解し消滅させる。 - 特許庁

When a 3rd stop valve 26 is opened and the resist liquid is discharged from a resist liquid discharge nozzle 7, the radical pressure change in an air feed chamber 31 of the forcibly feed pump 22 is mitigated by the accumulator 44 and is returned to the normal condition for a short time.例文帳に追加

第３の開閉バルブ２６が開放され，レジスト液吐出ノズル７からレジスト液が吐出されると，圧送ポンプ２２の給気室３１内の急激な圧力変動がアキュームレータ４４により緩和され，短時間で収束する。 - 特許庁