SEM Imageとは 意味・読み方・使い方

This reference image preparing method uses a pattern recognizing device 1 and acquires an SEM image representing a pattern on a wafer 41 by a SEM 10.例文帳に追加

パターン認識装置１を用い、ＳＥＭ１０によりウェーハ４１上のパターンを表すＳＥＭ画像を取得する。 - 特許庁

Furthermore, the SEM image corresponding to a detected position is registered again as a template, and the matching process is carried out.例文帳に追加

さらに検出された位置に対応したSEM画像をテンプレートとして再登録しなおしマッチング処理を行う。 - 特許庁

Template matching is performed between the synthetic image with the interlayer deviation and the SEM image.例文帳に追加

この層間ズレ付き合成画像とＳＥＭ画像の間でテンプレート・マッチングを行う。 - 特許庁

To acquire an SEM image of a high resolution while suppressing damage to a sample caused by electron beam irradiation accompanied by SEM imaging, regarding the acquisition of an image of a semiconductor pattern using SEM.例文帳に追加

ＳＥＭを用いた半導体パターンの画像の取得に関して、ＳＥＭの撮像に伴う電子線照射による試料へのダメージを抑えつつ、高分解能なＳＥＭ画像を取得することである。 - 特許庁

For the front side, normal scanning image (SEM image) is displayed, while for the back side, horizontally flipped SEM image is displayed, and both sides are fine processed by FIB device.例文帳に追加

表面の場合は、通常の走査像（ＳＥＭ像）を、裏面の場合は、左右反転したＳＥＭ像を表示し、そしていずれの場合も、その後ＦＩＢ装置で微細加工する。 - 特許庁

IMPROVEMENT OF SEM IMAGE USING NARROW-BAND DETECTION METHOD AND COLOR ASSIGNMENT METHOD例文帳に追加

狭帯域検出法とカラ—アサインメント法を用いたＳＥＭ画像の改良 - 特許庁

A SEM 8 is arranged inside of the chamber 3, and this SEM 8 scans the wafer 2 with the electron beam, and observes a secondary electronic image emitted from a surface of the wafer 2, and generates an image (SEM image) of the surface of the wafer 2.例文帳に追加

チャンバー３内にはＳＥＭ８が配設され、このＳＥＭ８は、ウェハ２上に電子ビームを走査させ、その時にウェハ２の表面から放出される２次電子像を観察し、ウェハ２表面の画像（ＳＥＭ画像）を生成する。 - 特許庁

METHOD OF GENERATING FALSE SEM IMAGE DATA AND METHOD OF EXAMINING DEFECT OF PHOTOMASK例文帳に追加

擬似ＳＥＭ画像データの生成方法およびフォトマスクの欠陥検査方法 - 特許庁